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光学干渉式膜厚計 ( Film thickness measurement instruments)
- 設備ID
- HK-626
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- フィルメトリクス (Filmetrics)
- 型番
- F20-UV
- 仕様・特徴
- 膜厚測定範囲：1nm - 40µm
測定波長域：190-1100nm
- 設備状況
- 稼働中
微細形状測定機(段差計) (Microfigure Measuring Instrument)
- 設備ID
- HK-630
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 株式会社 小坂研究所 (Kosaka Laboratory Ltd.)
- 型番
- ET200A
- 仕様・特徴
- 最大サンプルサイズΦ160×厚さ52mm
再現性1σ 0.3nm以内
測定範囲Z：600μm X：100mm
分解能Z：0.1nm X：0.1μm
測定力10μN～500μN
- 設備状況
- 稼働中
エリプソメータ (Ellipsometry)
- 設備ID
- HK-706
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本分光 (JASCO)
- 型番
- M-500S
- 仕様・特徴
- Xe光源, 測定波長：350～800nm, 試料水平置き
- 設備状況
- 稼働中
触針式プロファイラー（段差計） (Alpha-Step D-500)
- 設備ID
- HK-708
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- KLA-Tencor (KLA-Tencor)
- 型番
- D-500
- 仕様・特徴
- サンプルステージ直径 140mm
段差測定再現性1σ 0.5nm以内
測定範囲Z：1200µm X：30mm
分解能Z：0.038nm
針圧範囲 0.03 ～15mg
- 設備状況
- 稼働中
赤外透過評価検査・非接触厚み測定機 (Infrared MEMS Analyzer)
- 設備ID
- KT-227
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- (株)モリテックス (MORITEX Corporation)
- 型番
- IRise－T
- 仕様・特徴
- 赤外線により、非接触にて対象物の観察(内部観察）を行い、かつシリコンウェハ上の薄膜の厚みを測定することができる。
・基板 最大Φ8インチウェハー
・画像分解能 0.26μm/画素
・厚さ分解能 0.01μm以下( 5～150μm )
- 設備状況
- 稼働中
分光エリプソメーター (Spectral Ellipsometer)
- 設備ID
- KT-311
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- 大塚電子(株) (Otsuka Electronics Co., Ltd.)
- 型番
- FE-5000
- 仕様・特徴
- ・分光エリプソスペクトルの多波長同時測定
・基板（バルク）光学定数（n、k）が直接解析可能
・角度可変測定により、薄膜のより詳細な解析に対応
・測定膜厚範囲 1nm～1μm
・測定波長範囲 300nm～800nm
・サンプルサイズ 200mmx 200mm以上
- 設備状況
- 稼働中
ゼータ電位・粒径測定システム (Zeta Potential & Particle Size Analyzer)
- 設備ID
- KT-313
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- 大塚電子(株) (Otsuka Electronics Co., Ltd.)
- 型番
- ELSZ-2Plus
- 仕様・特徴
- 希薄から濃厚系試料のゼータ電位・粒子径測定が可能
・測定範囲 ゼータ電位：-200～200mV
・電気移動度：-20×10-4～20×10-4cm2/V・s
・粒子径：0.6nm～7μm
- 設備状況
- 稼働中
ダイナミック光散乱光度計 (Dynamic Light Scattering Spectrophotometer)
- 設備ID
- KT-314
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- 大塚電子(株) (Otsuka Electronics Co., Ltd.)
- 型番
- DLS-8000DH
- 仕様・特徴
- ・動的光散乱法
粒径分布、拡散係数分布を測定
・静的光散乱法
第二ビリアル係数・重量平均分子量・慣性半径の見積もり、重量平均分子量
・動的光散乱法：粒径分布、拡散係数分布測定
・静的光散乱法：第二ビリアル係数・重量平均分子量測定・慣性半径の見積もり
- 設備状況
- 稼働中
触針式段差計（CR） (Stylus Profilometer)
- 設備ID
- KT-332
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- Veeco社(株)アルバック (Veeco Instruments Inc.ULVAC, Inc.)
- 型番
- Dektak150
- 仕様・特徴
- (株)アルバック社製 Dektak150
垂直分解能(最高) 0.1nm
測定距離 50μm～55mm
サンプルステージサイズ 直径 150mm
- 設備状況
- 稼働中
触針式段差計（加工評価室） (Stylus Profilometer)
- 設備ID
- KT-333
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- Veeco社(株)アルバック (Veeco Instruments Inc.ULVAC, Inc.)
- 型番
- Dektak150
- 仕様・特徴
- (株)アルバック社製 Dektak150
垂直分解能(最高) 0.1nm
測定距離 50μm～55mm
サンプルステージサイズ 直径 150mm
- 設備状況
- 稼働中