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断面試料作製装置(クロスセクションポリッシャ) (Specimen preparation equipment (CROSS SECTION POLISHER))

設備ID
CT-014
設置機関
公立千歳科学技術大学
設備画像
断面試料作製装置(クロスセクションポリッシャ)
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
IB-09010CP
仕様・特徴
・イオン加速電圧:2~6 kV
・イオンビーム径:500 μm
・ミリングスピード:100 μm/h
・最大搭載試料サイズ:11 mm(幅) x 10 mm(長さ) x 2 mm(厚さ)
・使用ガス:アルゴンガス
設備状況
稼働中

精密イオン研磨装置 ( Precision ion polishing system)

設備ID
HK-407
設置機関
北海道大学
設備画像
精密イオン研磨装置
メーカー名
ガタン (Gatan)
型番
PIPSII
仕様・特徴
イオン加速電圧:1 ~ 6 kV
イオン入射角:最大±10°
液体窒素冷却装置
TVカメラ
設備状況
稼働中

クライオイオンスライサ― (CRYO ION SLICER)

設備ID
KT-409
設置機関
京都大学
設備画像
クライオイオンスライサ―
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
IB-09060CIS
仕様・特徴
1.アルゴンビーム薄片化装置(電圧1~8kV)
2.試料傾斜角最大±6度
3.クライオステージ(-120℃)
設備状況
稼働中

Arイオン研磨装置群 (Sample milling / polishing facilities)

設備ID
KU-014
設置機関
九州大学
設備画像
Arイオン研磨装置群
メーカー名
Gatan、Fischione、日本電子 (Gatan、Fischione、JEOL)
型番
Gatan PIPSⅡ M 695、Fischione NanoMill Model1040、JEOL ION SLICER EM-09100IS
仕様・特徴
電子顕微鏡試料の調製
設備状況
稼働中

クロスセクションポリッシャ (CROSS SECTION POLISHER)

設備ID
KU-021
設置機関
九州大学
設備画像
クロスセクションポリッシャ
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
IB-19530CP
仕様・特徴
ブロードArイオンビームによる断面加工・鏡面仕上げ加工(ハイスループット仕様)
低ダメージで大面積加工が可能、SEM観察やEBSD解析に最適
設備状況
稼働中

原子分解能分析電子顕微鏡群 (Atomic-Resolution Analytical Electron Microscope)

設備ID
NI-001
設置機関
名古屋工業大学
設備画像
原子分解能分析電子顕微鏡群
メーカー名
日本電子/ガタン (JEOL/Gatan, Inc./Gatan, Inc.)
型番
JEM-ARM200F/PIPS II/Model 656
仕様・特徴
●走査透過電子顕微鏡(JEM-ARM200F)
加速電圧:80kV・200kV,電子銃:冷陰極電界放出型
EDS、EELS、デジタルCCDカメラシステム付設
●イオンミリング装置(PIPS II)
高精度で無機化合物、金属、複合材料などをAr+イオンにより研磨できる。イオン銃加速電圧:0.1~7kV 冷却ステージあり
●ディンプルグラインダー(Model 656)
イオンミリングの前処理として固体板状試料に3mmΦ以下のくぼみをつけることができる。
設備状況
稼働中

無損傷電子顕微鏡試料薄片化装置 (Damage-less TEM specimen milling apparatus)

設備ID
NM-404
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
無損傷電子顕微鏡試料薄片化装置
メーカー名
フィッシオーネ (Fischione)
型番
Model 1040 Nanomill
仕様・特徴
・イオン:アルゴン
・イオンエネルギー:50~2000eV 可変
・イオン電流:1mA/cm2
・イオンビームサイズ:2μm
設備状況
稼働中

セラミックス試料作製装置群 (Ceramics sample preparation facilities)

設備ID
NM-407
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
セラミックス試料作製装置群
メーカー名
ガタン日立ハイテク真空デバイスマルトーTECHNOORG-LINDA (GatanHitachi High-TechVacuum DeviceMarutoTECHNOORG-LINDA)
型番
695PIPS II(精密イオン研磨装置)656 DimpleGrinder(ディンプルグラインダ)TM4000Plus II(卓上SEM)VES-30T(マルチコーター)ML-180 DoctorLap(卓上研磨機)MS2 MICROSAW(小型精密切断器)
仕様・特徴
・精密イオン研磨装置:イオンビームエネルギー: 0.1~8 keV、試料冷却が可能、観察用デジタルズームカメラ付属

・ディンプルグラインダ:研磨ホイール径 15 mm、研磨荷重 0~40 g、自動停止機構付属

・卓上SEM:加速電圧:5-20kV、二次電子検出器および反射電子検出器

・マルチコーター:蒸着、イオンスパッタ、親水化処理

・卓上研磨機:研磨回転数 50~500 rpm

・小型精密切断器:50mmダイヤモンド回転刃
設備状況
稼働中

TEM試料作製装置群 (TEM sample preparation apparatus)

設備ID
NM-516
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
TEM試料作製装置群
メーカー名
Gatan 日本電子 BEUHLER Allied 日本レーザー電子 真空デバイス (Gatan JEOL BEUHLER Allied Nippon Laser & Electronics Vacuum Device)
型番
Dimple Grinder(Model 656) PIPS II(Model 695) PIPS(Model 691) Ion Slicer(EM-09100IS) ISOMET Multiprep Carbon coater(JEC-560) Platinum coater(JFC-1600) Au coater(JFC-1500) Osmium coater(NL-OPC80A) Osmium coater(HPC-1SW) PECS(Model 682) Disc Cutter(Model 601) DII-29020HD
仕様・特徴
Dimple Grinder(Model 656)
・初期試料厚さ: 200 µm以下
・自動停止機構付き
PIPS II(Model 695)
・加速電圧: 0.1~6 kV
・液体窒素冷却ステージ
PIPS(Model 691)
・加速電圧: 0.1~6 kV
・液体窒素冷却ステージ
Ion Slicer(EM-09100IS)
・加速電圧: 1~8 kV
ISOMET
・4インチダイヤモンド切断砥石
Multiprep
・試料傾斜角度: 0~10°
・精密マイクロメーター付き
PECS(Model 682)
・コーディング材料:カーボン, クロム, 金パラジウム, コバルト
Disc Cutter(Model 601)
・金属試料の3mmディスク切り出し
TEMグリッド等の親水化処理
設備状況
稼働中

材料系電子顕微鏡用試料作製装置群 (Material-Science TEM Sample Preparation Machines)

設備ID
OS-007
設置機関
大阪大学
設備画像
材料系電子顕微鏡用試料作製装置群
メーカー名
アメテック株式会社 (AMETEK)
型番
PIPS II
仕様・特徴
機械研摩装置、トライポッド、ディンプルグラインダー
設備状況
稼働中
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