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集束イオンビーム加工観察装置(FIB) (Focused Ion Beam System（FIB）)
- 設備ID
- AT-034
- 設置機関
- 産業技術総合研究所（AIST)
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
- 型番
- FB-2100
- 仕様・特徴
- ・型式:FB-2100
・試料サイズ: 18mmφ以下, 高さ10mm以下
・イオン源:ガリウム液体金属イオン源
・加速電圧:2kV, 5kV, 10kV～40 kV （低加速電圧対応）
・像分解能:6 nm （SIM）
・ビーム径:3µm, 1.3µm, 600 nm, 320 nm, 120 nm, 60 nm, 10 nm
・イオンビーム電流:0.1nA～68nA （大電流対応）
・デポジションガス:タングステンカルボニル
・マニュピレータシステム:シングルプローブ
・試料ステージ制御:5軸チルトステージ
・ステージ傾斜角度:最大45°
- 設備状況
- 稼働中
FIB-SEM (Focused Ion beam - Scanning Electron Microscope)
- 設備ID
- BA-003
- 設置機関
- 筑波大学
- 設備画像
- メーカー名
- FEI (FEI)
- 型番
- Helios NanoLab 600i
- 仕様・特徴
- 電子とイオンの2種のソースにより、TEM試料作製、イオン照射による直接加工をSEM観察をしながら実施できる。
加速電圧：1-30kV（電子ビーム）
0.5-30kV（Gaイオンビーム）
デポジション用ガス：C,Ptガス
分析機能：EDS
- 設備状況
- 稼働中
集束イオンビーム加工装置 (FIB)
- 設備ID
- HK-105
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JEM-9320FIB
- 仕様・特徴
- ・イオン加速電圧：5 ～ 30 kV
・倍率：150（50）～300,000
・真空系：ターボ分子ポンプ（TMP）、ロータリーポンプ（RP）
・チップオンホルダー
・バルクホルダー
・ピックアップ装置
・遠隔観察装置
- 設備状況
- 稼働中
集束イオンビーム加工・観察装置 (Focused Ion Beam and Scanning Electron Microscope system(FIB-SEM))
- 設備ID
- HK-304
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JIB-4600F/HKD
- 仕様・特徴
- 加速電圧：1～30kV
分析機能：EDS、EBSD、3D観察
像分解能：5nm（30kV）
反射電子検出器装備
- 設備状況
- 稼働中
集束イオンビーム加工装置 (Focused Ion Beam system)
- 設備ID
- HK-403
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- FB-2100
- 仕様・特徴
- イオン加速電圧：5 ～ 30 kV
サイドエントリーステージ
バルクステージ
マイクロサンプリング機能
- 設備状況
- 稼働中
FIB-SEMデュアルビーム加工観察装置 (FIB-SEM Dual Beam System)
- 設備ID
- IT-023
- 設置機関
- 国立大学法人 東京科学大学（旧：国立大学法人 東京工業大学）
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JIB-4501
- 仕様・特徴
- FIB部分 Ga 液体金属イオン源、加速電圧 1-30kV,ビーム電流最大60nA以上 SEM部分 加速電圧0.3-30kV 分解能 3nm以下
- 設備状況
- 稼働中
集束イオンビーム走査電子顕微鏡 (Cross-Beam with Focused Ion Beam and FE-SEM )
- 設備ID
- KT-206
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- エスアイアイ・ナノテクノロジー(株) (SII NanoTechnology Inc.)
- 型番
- NVision40PI
- 仕様・特徴
- 高性能FIBとFE-SEMのクロスビーム装置（各種分析機能付）。
・基板サイズ：MAX Φ30mm
・検出器：SE×2（インレンズSE、チャンバーSE）、反射電子（EsB）
・ガスインジェクションシステム：C、W、SiOx
・マイクロプロービングシステム
・EDX/EBSDインテグレーションシステム：EDAX Pegasus
・ピコインデンターシステム
- 設備状況
- 稼働中
デュアルビーム走査電子顕微鏡 (Dual Beam FIB-SEM)
- 設備ID
- KT-408
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JIB-4700F
- 仕様・特徴
- 1.SEM装置(0.1～30kV)
2.FIB装置(1～30kV)
3.EDS検出器
4.EBSD検出器
5.クライオステージ
6.WとCのガス吹付装置
- 設備状況
- 稼働中
デュアルビームFIB-SEM加工装置 (Dual beam FIB-SEM)
- 設備ID
- KU-005
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
- 型番
- FEI Quanta 200 3D
- 仕様・特徴
- 観察+FIB加工、マイクロサンプリング
- 設備状況
- 稼働中
直交型FIB-SEM (3D analytical FIB-SEM)
- 設備ID
- KU-006
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech Corporation)
- 型番
- MI4000L
- 仕様・特徴
- 直交型FIB-SEM、3次元組織解析(3D-SEM/EDS)、EDS(150mm2 SDD検出器)による組成・状態分析
- 設備状況
- 稼働中