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集束イオンビーム加工装置 (Focused Ion Beam system)
- 設備ID
- HK-403
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- FB-2100
- 仕様・特徴
- イオン加速電圧:5 ~ 30 kV
サイドエントリーステージ
バルクステージ
マイクロサンプリング機能
- 設備状況
- 稼働中
精密イオン研磨装置 ( Precision ion polishing system)
- 設備ID
- HK-407
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- ガタン (Gatan)
- 型番
- PIPSII
- 仕様・特徴
- イオン加速電圧:1 ~ 6 kV
イオン入射角:最大±10°
液体窒素冷却装置
TVカメラ
- 設備状況
- 稼働中
FIB-SEMデュアルビーム加工観察装置 (FIB-SEM Dual Beam System)
- 設備ID
- IT-023
- 設置機関
- 東京科学大学(旧:東京工業大学)
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JIB-4501
- 仕様・特徴
- FIB部分 Ga 液体金属イオン源、加速電圧 1-30kV,ビーム電流最大60nA以上 SEM部分 加速電圧0.3-30kV 分解能 3nm以下
- 設備状況
- 稼働中
集束イオンビーム走査電子顕微鏡 (Cross-Beam with Focused Ion Beam and FE-SEM )
- 設備ID
- KT-206
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- エスアイアイ・ナノテクノロジー(株) (SII NanoTechnology Inc.)
- 型番
- NVision40PI
- 仕様・特徴
- 高性能FIBとFE-SEMのクロスビーム装置(各種分析機能付)。
・基板サイズ:MAX Φ30mm
・検出器:SE×2(インレンズSE、チャンバーSE)、反射電子(EsB)
・ガスインジェクションシステム:C、W、SiOx
・マイクロプロービングシステム
・EDX/EBSDインテグレーションシステム:EDAX Pegasus
・ピコインデンターシステム
- 設備状況
- 稼働中
ミクロトーム (Microtome apparatus)
- 設備ID
- KT-405
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- ライカ (Leica)
- 型番
- ULTRA CUT UCT
- 仕様・特徴
- 比較的柔らかい有機物などをダイヤモンドナイフで切削して薄片化し、電子顕微鏡試料を作製する装置。
・ステージ温度:室温、液体窒素温度
- 設備状況
- 稼働中
デュアルビーム走査電子顕微鏡 (Dual Beam FIB-SEM)
- 設備ID
- KT-408
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JIB-4700F
- 仕様・特徴
- 1.SEM装置(0.1~30kV)
2.FIB装置(1~30kV)
3.EDS検出器
4.EBSD検出器
5.クライオステージ
6.WとCのガス吹付装置
- 設備状況
- 稼働中
クライオイオンスライサ― (CRYO ION SLICER)
- 設備ID
- KT-409
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- IB-09060CIS
- 仕様・特徴
- 1.アルゴンビーム薄片化装置(電圧1~8kV)
2.試料傾斜角最大±6度
3.クライオステージ(-120℃)
- 設備状況
- 稼働中
デュアルビームFIB-SEM加工装置 (Dual beam FIB-SEM)
- 設備ID
- KU-005
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
- 型番
- FEI Quanta 200 3D
- 仕様・特徴
- 観察+FIB加工、マイクロサンプリング
- 設備状況
- 稼働中
直交型FIB-SEM (3D analytical FIB-SEM)
- 設備ID
- KU-006
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech Corporation)
- 型番
- MI4000L
- 仕様・特徴
- 直交型FIB-SEM、3次元組織解析(3D-SEM/EDS)、EDS(150mm2 SDD検出器)による組成・状態分析
- 設備状況
- 稼働中
三次元走査電子顕微鏡 (3D analyltical FIB-SEM)
- 設備ID
- KU-011
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
- 型番
- Scios DualBeam
- 仕様・特徴
- 3次元組織解析
- 設備状況
- 稼働中