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集束イオンビーム加工装置 (Focused Ion Beam system)

設備ID
HK-403
設置機関
北海道大学
設備画像
集束イオンビーム加工装置
メーカー名
日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
型番
FB-2100
仕様・特徴
イオン加速電圧:5 ~ 30 kV
サイドエントリーステージ
バルクステージ
マイクロサンプリング機能
設備状況
稼働中

精密イオン研磨装置 ( Precision ion polishing system)

設備ID
HK-407
設置機関
北海道大学
設備画像
精密イオン研磨装置
メーカー名
ガタン (Gatan)
型番
PIPSII
仕様・特徴
イオン加速電圧:1 ~ 6 kV
イオン入射角:最大±10°
液体窒素冷却装置
TVカメラ
設備状況
稼働中

FIB-SEMデュアルビーム加工観察装置 (FIB-SEM Dual Beam System)

設備ID
IT-023
設置機関
東京科学大学(旧:東京工業大学)
設備画像
FIB-SEMデュアルビーム加工観察装置
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JIB-4501
仕様・特徴
FIB部分 Ga 液体金属イオン源、加速電圧 1-30kV,ビーム電流最大60nA以上 SEM部分 加速電圧0.3-30kV 分解能 3nm以下
設備状況
稼働中

集束イオンビーム走査電子顕微鏡 (Cross-Beam with Focused Ion Beam and FE-SEM )

設備ID
KT-206
設置機関
京都大学
設備画像
集束イオンビーム走査電子顕微鏡
メーカー名
エスアイアイ・ナノテクノロジー(株) (SII NanoTechnology Inc.)
型番
NVision40PI
仕様・特徴
高性能FIBとFE-SEMのクロスビーム装置(各種分析機能付)。
・基板サイズ:MAX Φ30mm
・検出器:SE×2(インレンズSE、チャンバーSE)、反射電子(EsB)
・ガスインジェクションシステム:C、W、SiOx
・マイクロプロービングシステム
・EDX/EBSDインテグレーションシステム:EDAX Pegasus
・ピコインデンターシステム
設備状況
稼働中

ミクロトーム (Microtome apparatus)

設備ID
KT-405
設置機関
京都大学
設備画像
ミクロトーム
メーカー名
ライカ (Leica)
型番
ULTRA CUT UCT
仕様・特徴
比較的柔らかい有機物などをダイヤモンドナイフで切削して薄片化し、電子顕微鏡試料を作製する装置。
・ステージ温度:室温、液体窒素温度
設備状況
稼働中

デュアルビーム走査電子顕微鏡 (Dual Beam FIB-SEM)

設備ID
KT-408
設置機関
京都大学
設備画像
デュアルビーム走査電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JIB-4700F
仕様・特徴
1.SEM装置(0.1~30kV)
2.FIB装置(1~30kV)
3.EDS検出器
4.EBSD検出器
5.クライオステージ
6.WとCのガス吹付装置
設備状況
稼働中

クライオイオンスライサ― (CRYO ION SLICER)

設備ID
KT-409
設置機関
京都大学
設備画像
クライオイオンスライサ―
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
IB-09060CIS
仕様・特徴
1.アルゴンビーム薄片化装置(電圧1~8kV)
2.試料傾斜角最大±6度
3.クライオステージ(-120℃)
設備状況
稼働中

デュアルビームFIB-SEM加工装置 (Dual beam FIB-SEM)

設備ID
KU-005
設置機関
九州大学
設備画像
デュアルビームFIB-SEM加工装置
メーカー名
サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
型番
FEI Quanta 200 3D
仕様・特徴
観察+FIB加工、マイクロサンプリング
設備状況
稼働中

直交型FIB-SEM (3D analytical FIB-SEM)

設備ID
KU-006
設置機関
九州大学
設備画像
直交型FIB-SEM
メーカー名
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech Corporation)
型番
MI4000L
仕様・特徴
直交型FIB-SEM、3次元組織解析(3D-SEM/EDS)、EDS(150mm2 SDD検出器)による組成・状態分析
設備状況
稼働中

三次元走査電子顕微鏡 (3D analyltical FIB-SEM)

設備ID
KU-011
設置機関
九州大学
設備画像
三次元走査電子顕微鏡
メーカー名
サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
型番
Scios DualBeam
仕様・特徴
3次元組織解析
設備状況
稼働中
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