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パーク・システムズAFM (Park systems AFM)
- 設備ID
- TU-319
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- パーク・システムズ (Park systems)
- 型番
- NX20
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
- 設備状況
- 稼働中
小型原子間力顕微鏡 (Atomin Force Microscope (AFM))
- 設備ID
- UT-859
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech Science)
- 型番
- SPA400+SPI4000
- 仕様・特徴
- 日立ハイテクサイエンス(旧SII社製)AFM。試料サイズ：φ35mm厚み10mm、スキャナー走査範囲：150μm×150μm（高さ5μm）、20μm×20μm（高さ1.5μm）、AFMモード、DFMモード
- 設備状況
- 稼働中
走査型プローブ顕微鏡 (Scanning Probe Microscope)
- 設備ID
- UT-861
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
- 型番
- L-traceⅡ
- 仕様・特徴
- □主な特長
・Z直進エラーの低減化
・S/N比向上と光ノイズ低減
・熱源抑制効果による低ドリフト化
□主な仕様
・分解能 面内0.5nm 垂直0.05nm
・試料サイズ 直径150mm厚さ12mmまで
・スキャン最大エリア90μmX90μm
□主な用途
・ 微細加工形状の評価
・ 薄膜の表面形状（粗さ）観察
- 設備状況
- 稼働中
大面積走査プローブ顕微鏡Dimension ICON (Large-Area Scanning Probe Microscope Dimension ICON)
- 設備ID
- UT-863
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- ブルカージャパン (Bruker Japan)
- 型番
- Dimension ICON
- 仕様・特徴
- ステージ径φ210mm、駆動範囲150×180mm
スキャナ、光学顕微鏡範囲：90×90×10μm
測定モード：形状（コンタクト、タッピング、ピークフォースタッピング）機械特性等プローブ測定が可能（UT-861 L-TraceIIの後継機。近日中に完全置換予定）
- 設備状況
- 稼働中