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走査プローブ顕微鏡 (Scanning probe microscope)

設備ID
MS-204
設置機関
自然科学研究機構 分子科学研究所
設備画像
走査プローブ顕微鏡
メーカー名
Bruker (Bruker)
型番
Dimension XR Icon NanoEDimension XR Icon NanoEC
仕様・特徴
形状測定、機械特性測定、電気特性測定、電気化学
大気非暴露ボックス、環境制御ユニット(-35℃~250℃、湿度5%~50%)
設備状況
稼働中

精密形状測定・局所磁気測定・局所電気特性評価装置 (Scanning Probe Microscope for Morphological, Magnetic and Electrical Characterization)

設備ID
NI-017
設置機関
名古屋工業大学
設備画像
精密形状測定・局所磁気測定・局所電気特性評価装置
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JSPM-5200TM
仕様・特徴
分解能:原子分解能。カーボンナノファイバー(CNF)探針によるソフトマテリアル低損傷観察可能。
測定モード:形状、電気特性、磁気特性測定。
設備状況
稼働中

液中原子間力顕微鏡 (Atomic force microscope (AFM) in liquid)

設備ID
NM-005
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
液中原子間力顕微鏡
メーカー名
ブルカー (Bruker)
型番
NanoWizard 4 XP
仕様・特徴
【AFM測定】
・液中観察:可
・走査範囲:水平100µm、垂直15µm
・動作モード:コンタクトモード、タッピングモード、フォースカーブマッピングモード、粘弾性測定、MFM観察
【直上顕微鏡】
・観察倍率:10倍
【倒立顕微鏡】
・観察法:明視野、位相差、蛍光
・対物レンズ:10倍、40倍
【その他】
・温度制御:室温+60℃まで
設備状況
稼働中

走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR] (SPM [Jupiter XR])

設備ID
NM-622
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR]
メーカー名
オックスフォード・インストゥルメンツ (Oxford Instruments)
型番
Jupiter XR
仕様・特徴
・用途:ナノ構造の計測
・評価・測定モード:形状測定、メカニカル測定、電気測定、磁気測定、等
・走査範囲:90um
・ステージ可動範囲:200mm角
・最大試料サイズ:φ8inch
設備状況
稼働中

表面ダイナミクス原子間力顕微鏡装置 (Atomic Force Microscope System for Surface Dynamics)

設備ID
NR-706
設置機関
奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
設備画像
表面ダイナミクス原子間力顕微鏡装置
メーカー名
ブルカー (Bruker)
型番
NanoWizard ULTRA Speed 2
仕様・特徴
・測定環境:大気中、液中
・最大撮影速度:10 frames/sec
・最大走査範囲:水平300μm×垂直300μm
・動作モード:コンタクトモード、ピークフォースタッピング(QIモード)、ACモード、フォースカーブマッピングモード
・温度制御範囲:室温~+300℃(高温加熱ステージ利用時)、-30~120℃(加熱冷却モジュール利用時)
設備状況
稼働中

原子間力顕微鏡 (Atomic force microscope)

設備ID
NU-204
設置機関
名古屋大学
設備画像
原子間力顕微鏡
メーカー名
Bruker AXS (Bruker AXS)
型番
Dimension3100
仕様・特徴
・スキャン領域:XY方向 約90μm,Z方向 約6μm
・試料サイズ:最大150 mmφ-12 mmT
・測定モード AFM,MFM,EFM,LFM,表面電位顕微鏡,電流像
設備状況
稼働中

原子間力顕微鏡 (Atomic force microscope)

設備ID
NU-264
設置機関
名古屋大学
設備画像
原子間力顕微鏡
メーカー名
パーク・システムズ (Park Systems)
型番
NX20
仕様・特徴
・スキャン領域:XY方向100µm,Z方向15µm
・試料サイズ:最大200mmφ-20mmt
・測定モード AFM,MFM,EFM,LFM,FMM,C-AFM,ナノリソグラフィ
設備状況
稼働中

走査型プローブ顕微鏡 (Scanning Probe Microscope)

設備ID
OS-125
設置機関
大阪大学
設備画像
走査型プローブ顕微鏡
メーカー名
株式会社日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech Science Corporation)
型番
AFM5000/AFM5300E
仕様・特徴
【特徴】
AFM,c-AFM,STM,DFM,MFM,KFM,PRM,電流マッピング,SNDMなどが測定可能な走査型プローブ顕微鏡です。
温度制御、調湿制御機構を備えており、真空下での測定も可能です。
500mTの磁場が試料水平方向に印加可能です。
【仕様】
試料サイズ:15mmφ
温度制御:-120~300℃
調湿制御:30~70%
真空中測定:10E-4Paまで可能
磁場印加:試料水平方向に500mT
設備状況
稼働中

原子間力顕微鏡 (AFM)

設備ID
RO-533
設置機関
広島大学
設備画像
原子間力顕微鏡
メーカー名
セイコーインスツルメンツ (Seiko Instruments Inc.)
型番
SPI3800
仕様・特徴
分解能:z:0.01nm, X、Y:0.1nm,
視野:最小5nm角、最大 20μm角、
設備状況
稼働中

ナノ物性測定用プローブ顕微鏡システム (Scanning probe microscope for measuring nano-region material property)

設備ID
TT-019
設置機関
豊田工業大学
設備画像
ナノ物性測定用プローブ顕微鏡システム
メーカー名
ブルカー (Bruker)
型番
Multimode顕微鏡
仕様・特徴
・導電性(TUNA)
・表面電位、STM機能
・原子、分子分解能
設備状況
稼働中
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