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走査電子顕微鏡（SEM） (Field emission scanning electron microscope)
- 設備ID
- RO-527
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL Ltd.)
- 型番
- JSM-IT800
- 仕様・特徴
- ショットキｰ電界放出型電子銃，10V～30kV、
最高分解能0.5nm，
- 設備状況
- 稼働中
複合ビーム加工観察装置 (Dual beam analysis system )
- 設備ID
- SH-007
- 設置機関
- 信州大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JIB-4610F
- 仕様・特徴
- FE-SEM 加速電圧 0.1～30ｋV
FIB 分解能4nm 加速電圧 1～30kV
Cryoオプション付き ピックアップシステム付き
- 設備状況
- 稼働中
電界放出型走査電子顕微鏡 (Field-Emission Scanning Electron Microscope)
- 設備ID
- SH-101
- 設置機関
- 信州大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- SU8000
- 仕様・特徴
- 加速電圧：0.5 ～ 30 kV
倍率：低倍率モード20 ～ 2,000倍
高倍率モード100 ～ 800,000倍
分析機能：EDX付
- 設備状況
- 稼働中
走査型電子顕微鏡(JSM-7100F) (Electron Microscopy System)
- 設備ID
- TH-701
- 設置機関
- 豊橋技術科学大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子, アルバック (JEOL, ULVAC)
- 型番
- JSM-7100F, VPS-050
- 仕様・特徴
- 【JSM-7100F】
測長機能付きの走査型電子顕微鏡。
最大倍率：1,000,000倍
加速電圧：0.5-30kV
分解能：1.2nm (30kV)
対応試料サイズ：φ4インチ以下
(付帯装置)
【VPS-050】
SEM観察時のチャージアップ防止のための金属(Au)膜コーティングを行う
試料サイズ：φ2インチ以下
- 設備状況
- 稼働中
熱電子SEM (SEM)
- 設備ID
- TU-314
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- S3700N
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
ロードロックは4インチまで
EDX付、低真空モード付、光学画像ナビゲーション付
- 設備状況
- 稼働中
断面SEM (FE-SEM)
- 設備ID
- TU-315
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- S5000
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片専用
インレンズ式（磁性体導入不可）
- 設備状況
- 稼働中
測長SEM (CD-SEM)
- 設備ID
- TU-317
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- CS4800
- 仕様・特徴
- 6、8インチは自動搬送、4インチ以下は手動搬送
計測再現性：1nm(3σ)
- 設備状況
- 稼働中
日立FE-SEM (Hitachi FE-SEM)
- 設備ID
- TU-331
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- SU8600
- 仕様・特徴
- 電解放出型走査電子顕微鏡、FE-SEM
・サンプルサイズ：小片～8インチ
・観察範囲：6インチまでは全面、8インチウェハは一部
・EDS（EDX）付
- 設備状況
- 稼働中
ショットキー走査型電子顕微鏡 (Scanning Electron Microscope)
- 設備ID
- UE-022
- 設置機関
- 電気通信大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立 (Hitachi High-Tech)
- 型番
- SU 5000
- 仕様・特徴
- 試料のミクロな表面観察、組成観察（反射電子像）
・加速電圧: 0.5～30 kV（0.1 kVステップ）
・分解能：
二次電子像
1.2 nm（加速電圧30 kV， WD = 5.0 mm）
3.0 nm（加速電圧 1 kV， WD = 3.0 mm）
反射電子像
3.0 nm（加速電圧15 kV， WD = 5.0 mm）
・写真倍率: 10～600,000x
- 設備状況
- 稼働中
低損傷走査型分析電子顕微鏡 (Low Damage Field Emission Scanning Electron Microscope)
- 設備ID
- UT-101
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子株式会社 (JEOL Ltd.)
- 型番
- JSM-7500FA
- 仕様・特徴
- □ 主な特長
ジェントルビーム機能を搭載し加速電圧1kVで1.4nmの高分解能
□ 主な仕様
・二次電子像分解能：1.0nm（15kV）、1.4nm（1kV）
・倍率：×25～×1,000,000
・加速電圧：0.1kV～30kV
- 設備状況
- 稼働中