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FIB/SEM精密微細加工装置（Helios 650） (FIB/SEM microfabrication instrument)
- 設備ID
- NM-517
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
- メーカー名
- サーモフィッシャーサイエンティフィック(株) (Thermo Fisher Scientific)
- 型番
- Helios 650
- 仕様・特徴
- 1. SIM像分解能5nm（@30kV）、最大電流65nA
2. SEM像分解能1.5nm（@1kV）、最大電流26nA
3. E-beam: 350V～30 kV、I-Beam: : 500V～30 kV
4. 試料ステージ: XY150 mm、Z10 mm、T: -9°～+57°、R: 360°
5. Ptデポ
6. サンプルリフトアウトシステム
【特徴】
1.集束イオンビーム(FIB)加工が可能 2.走査型電子顕微鏡(SEM)観察が可能 3.カラム内で加工薄片をリフトアウト（マイクロサンプリング)可能
- 設備状況
- 稼働中
FE-SEM [S-4800] (FE-SEM [S-4800])
- 設備ID
- NM-621
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![FE-SEM [S-4800]](data/facility_item/NM-621.jpg)
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- S-4800
- 仕様・特徴
- ・用途：ナノ加工・構造・材料の観察・計測
・電子銃：ZrO/W 電界放射型
・加速電圧：0.1-30kV
・2次電子像分解能：1.0nm （ノーマル：15kV），1.4nm （リターディング：1.0kV）
・試料ステージ：5軸モーター駆動
・最大試料サイズ：φ6inch
・その他：各種試料ホルダー装備
- 設備状況
- 稼働中
FE-SEM+EDX [S-4800] (FE-SEM+EDX [S-4800])
- 設備ID
- NM-647
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![FE-SEM+EDX [S-4800]](data/facility_item/1687416823_11.jpg)
- メーカー名
- 株式会社日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation)
- 型番
- S-4800
- 仕様・特徴
- ・加速電圧:0.5～30kV ,
・最大倍率:800k
・検出器:SE/BSE
・分解能：1.0 nm (15 kV) , 1.3 nm (1 kV)
・最大試料サイズ：6インチ
・付加機能：EDX
- 設備状況
- 稼働中
FE-SEM+EDX [SU8000] (FE-SEM+EDX [SU8000])
- 設備ID
- NM-648
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![FE-SEM+EDX [SU8000]](data/facility_item/1687416882_11.jpg)
- メーカー名
- 株式会社日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation)
- 型番
- SU8000
- 仕様・特徴
- ・加速電圧: 0.5～30kV ,
・最大倍率:800k
・検出器:SE/BSE
・分解能：1.0 nm (15 kV) , 1.3 nm (1 kV)
・最大試料サイズ：4インチ
・付加機能：EDX
- 設備状況
- 稼働中
FE-SEM+EDX [SU8230] (FE-SEM+EDX [SU8230])
- 設備ID
- NM-649
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![FE-SEM+EDX [SU8230]](data/facility_item/1687416938_11.jpg)
- メーカー名
- 株式会社日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation)
- 型番
- SU8230
- 仕様・特徴
- ・加速電圧: 0.5～30kV ,
・最大倍率:1,000k
・検出器:SE/BSE
・分解能：0.8 nm (15 kV) , 1.1 nm (1 kV)
・最大試料サイズ：6インチ
・付加機能：EDX
- 設備状況
- 稼働中
卓上電子顕微鏡 [TM3000] (Tabletop SEM+EDX [TM3000])
- 設備ID
- NM-650
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![卓上電子顕微鏡 [TM3000]](data/facility_item/1687416974_11.jpg)
- メーカー名
- 株式会社日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation)
- 型番
- TM3000
- 仕様・特徴
- ・加速電圧: 5, 15kV ,
・検出器:BSE
・最大倍率: 10k
・最大試料サイズ：70mmΦ
・付加機能：EDX
- 設備状況
- 稼働中
FE-SEM+EDX [JSM-IT800] (FE-SEM+EDX [JSM-IT800])
- 設備ID
- NM-667
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![FE-SEM+EDX [JSM-IT800]](data/facility_item/1736223368_24.jpg)
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JSM-IT800is
- 仕様・特徴
- ・加速電圧: 0.01～30kV ,
・最大倍率:2,000k
・検出器:SED/UID
・分解能：0.6 nm (15 kV) , 1.5 nm (1 kV)
・最大試料サイズ：6インチ
・付加機能：EDX
- 設備状況
- 稼働中
多機能分析走査電子顕微鏡 (Multi-functional analysis Scanning Electron Microsope (SEM))
- 設備ID
- NR-201
- 設置機関
- 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JSM-IT800
- 仕様・特徴
- ・加速電圧: 100 V 〜 30 kV
・分解能: 0.5 nm（2次電子像、加速電圧15 kV）
・EDS検出器搭載
・EBSD検出器搭載
・CL検出器搭載
・低真空機能搭載
- 設備状況
- 稼働中
超高分解能電界放出型電子顕微鏡 (Field-emission scanning electron microscope (FE-SEM))
- 設備ID
- NR-205
- 設置機関
- 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- SU9000
- 仕様・特徴
- ・加速電圧: 500 V 〜 30 kV
・分解能: 0.4 nm（2次電子像、加速電圧30 kV）
・EDX検出器搭載
・STEM検出器搭載
- 設備状況
- 稼働中
低真空分析走査電子顕微鏡 (Scanning Electron Microsope (SEM))
- 設備ID
- NR-206
- 設置機関
- 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- SU6600
- 仕様・特徴
- ・加速電圧: 500 V 〜 30 kV
・分解能: 1.2 nm（2次電子像、加速電圧30 kV）
・EDS検出器搭載
・EBSD検出器搭載
・低真空機能搭載
- 設備状況
- 稼働中