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卓上顕微鏡(SEM) (Tabletop SEM)

設備ID
KT-325
設置機関
京都大学
設備画像
卓上顕微鏡(SEM)
メーカー名
(株)日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Technologies Corporation)
型番
TM3000
仕様・特徴
簡単な操作で高倍率の表面観察ができます。低真空観察法により、帯電しやすい試料でも金属コーティングをせず、そのまま観察ができます。
・倍率 15~30,000倍
・試料最大寸法 Φ70mm
設備状況
稼働中

デュアルビーム走査電子顕微鏡 (Dual Beam FIB-SEM)

設備ID
KT-408
設置機関
京都大学
設備画像
デュアルビーム走査電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JIB-4700F
仕様・特徴
1.SEM装置(0.1~30kV)
2.FIB装置(1~30kV)
3.EDS検出器
4.EBSD検出器
5.クライオステージ
6.WとCのガス吹付装置
設備状況
稼働中

マイクロカロリーメーター高エネルギー分解能元素分析装置 (High resolution SEM with TES high energy resolution EDS)

設備ID
KU-003
設置機関
九州大学
設備画像
マイクロカロリーメーター高エネルギー分解能元素分析装置
メーカー名
日立ハイテクサイエンス、カールツァイス (Hitachi High-Tech Science)
型番
Zeiss-ULTRA55 + SII-TES
仕様・特徴
超伝導転移端検出器による高感度組成・状態分析(10eV@6KeV)、SDD(150mm2)検出器による組成・状態分析
設備状況
稼働中

デュアルビームFIB-SEM加工装置 (Dual beam FIB-SEM)

設備ID
KU-005
設置機関
九州大学
設備画像
デュアルビームFIB-SEM加工装置
メーカー名
サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
型番
FEI Quanta 200 3D
仕様・特徴
観察+FIB加工、マイクロサンプリング
設備状況
稼働中

直交型FIB-SEM (3D analytical FIB-SEM)

設備ID
KU-006
設置機関
九州大学
設備画像
直交型FIB-SEM
メーカー名
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech Corporation)
型番
MI4000L
仕様・特徴
直交型FIB-SEM、3次元組織解析(3D-SEM/EDS)、EDS(150mm2 SDD検出器)による組成・状態分析
設備状況
稼働中

三次元走査電子顕微鏡 (3D analyltical FIB-SEM)

設備ID
KU-011
設置機関
九州大学
設備画像
三次元走査電子顕微鏡
メーカー名
サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
型番
Scios DualBeam
仕様・特徴
3次元組織解析
設備状況
稼働中

デュアルビーム微細加工電子顕微鏡 (Dual beam FIB-SEM)

設備ID
KU-012
設置機関
九州大学
設備画像
デュアルビーム微細加工電子顕微鏡
メーカー名
サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
型番
Versa3D DualBeam
仕様・特徴
観察+FIB加工、マイクロサンプリング
設備状況
稼働中

キセノンプラズマ集束イオンビーム加工・走査電子顕微鏡複合機 (Analytical plasma FIB-SEM)

設備ID
KU-013
設置機関
九州大学
設備画像
キセノンプラズマ集束イオンビーム加工・走査電子顕微鏡複合機
メーカー名
サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
型番
Helios 5 Hydra DualBeam
仕様・特徴
イオン源4種(Xe, Ar, O, N)、SIMS分析
設備状況
稼働中

イオンビーム・電子ビーム複合型精密加工分析装置 (Precise Sample Preparation and Analysis System Combining Ion Beam and Electron Beam)

設備ID
KU-018
設置機関
九州大学
設備画像
イオンビーム・電子ビーム複合型精密加工分析装置
メーカー名
サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
型番
Helios 5 UX
仕様・特徴
FIBによる電顕試料の調製、モノクロメータSEMによる形態観察、EBSDによる方位解析、自動試料作製
設備状況
稼働中

走査電子顕微鏡装置群 (Scanning electron microscope system)

設備ID
KU-511
設置機関
九州大学
設備画像
走査電子顕微鏡装置群
メーカー名
日立ハイテクノロジーズキーエンス (Hitachi High-TechKEYENCE)
型番
SU9000、VE-8800
仕様・特徴
【超高分解能走査電子顕微鏡装置:SU9000】
・SEM(空間分解能0.4nm)とSTEM(空間分解能0.34nm)の高分解能同視野観察
・30kV以下の低加速観察
・コールドFE電子銃
・EDSによる高解像度元素マッピング
・含水サンプルの凍結観察個体表面における原子の分布を高分解能マッッピング
【3次元SEM画像測定解析システムVE-8800 KEYENCE】
・加速電圧0.5-20kV
・さまざまな有機/無機/複合材料表面構造解析低加速電圧観察可能(0.5 kV)
・非導電性試料でも非蒸着で観察可能
設備状況
稼働中
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