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集束イオンビーム加工・観察装置 (Focused Ion Beam and Scanning Electron Microscope system(FIB-SEM))
- 設備ID
- HK-304
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JIB-4600F/HKD
- 仕様・特徴
- 加速電圧：1～30kV
分析機能：EDS、EBSD、3D観察
像分解能：5nm（30kV）
反射電子検出器装備
- 設備状況
- 稼働中
ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡 (Schottky Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM))
- 設備ID
- HK-305
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JSM-7200F
- 仕様・特徴
- 加速電圧：0.01-30kV
分析機能：EDS
像分解能：1.6nm (1kV)、 1.0nm (20kV)
試料移動範囲：X: 70mm Y: 50mm Z: 2~41mm
反射電子検出器装備
- 設備状況
- 稼働中
超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 (High resolution Field-emission scanning electron microscope)
- 設備ID
- HK-404
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- Regulus8230
- 仕様・特徴
- 加速電圧：0.5～30kV
分析機能：EDS
STEM機能
試料サイズ：6インチまで
遠隔画面共有
- 設備状況
- 稼働中
高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡 (Field emission electron microscope)
- 設備ID
- HK-625
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JSM-6700FT
- 仕様・特徴
- 加速電圧：5-30kV
EDS機能
試料サイズ：小片～25mm角
- 設備状況
- 稼働中
走査型電子顕微鏡 (scanning electron microscope)
- 設備ID
- IT-006
- 設置機関
- 東京科学大学（旧：東京工業大学）
- 設備画像
- メーカー名
- 日立 (Hitachi)
- 型番
- S5200
- 仕様・特徴
- 高解像度用インレンズ式高解像度用インレンズ式 加速電圧1ｋV~30kV 分解能0.5nm(30kV）~1.7nm（1kV) 倍率X100~X2000K STEMモード可
- 設備状況
- 稼働中
走査型電子顕微鏡 (scanning electron microscope)
- 設備ID
- IT-007
- 設置機関
- 東京科学大学（旧：東京工業大学）
- 設備画像
- メーカー名
- 日立 (Hitachi)
- 型番
- S4500
- 仕様・特徴
- 電界放出型 ・冷陰極電界放出型電子銃 ・分解能：1.5 nm （加速電圧 15 kV WD=4mm） 4.0 nm （加速電圧1 kV WD=3mm) ・試料サイス:最大50 mm (直径)
- 設備状況
- 稼働中
低加速走査電子顕微鏡 (FE-SEM)
- 設備ID
- JI-010
- 設置機関
- 北陸先端科学技術大学院大学（JAIST）
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- Regulus8230
- 仕様・特徴
- 【遠隔利用可】
加速電圧：0.5-30kV（照射電圧0.01-20kV）
分解能：0.6nm at 15kV
EDX、EBSD、PD-BSE、EBIC
- 設備状況
- 稼働中
走査型オージェ電子分光顕微鏡 (SAM)
- 設備ID
- JI-011
- 設置機関
- 北陸先端科学技術大学院大学（JAIST）
- 設備画像
- メーカー名
- アルバック・ファイ (ULVAC-PHI)
- 型番
- SAM670Xi
- 仕様・特徴
- 元素分析：原子番号3以上
最大加速電圧：25kV
走査電子ビーム径：15nm以下（加速電圧20kV、電流１nA）
エネルギー分析：0-3200 eV
超高真空
- 設備状況
- 稼働中
超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 (Ultra-High Resolution Filed Emission SEM)
- 設備ID
- KT-301
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- (株)日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Technologies Corporation)
- 型番
- SU8000
- 仕様・特徴
- 絶縁物試料は、チャージアップ抑制機能を用いて観察可能
通常の二次電子像に加え、組成コントラスト、電位コントラストでの像取得が可能
・像分解能 1.0nm@15kV 1.4nm@1kV
・取得可能像 二次電子像,組成像,透過像,透過暗視野像
・試料サイズ Max100mmΦ,高さ30mm以下
- 設備状況
- 稼働中
卓上顕微鏡(SEM) (Tabletop SEM)
- 設備ID
- KT-325
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- (株)日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Technologies Corporation)
- 型番
- TM3000
- 仕様・特徴
- 簡単な操作で高倍率の表面観察ができます。低真空観察法により、帯電しやすい試料でも金属コーティングをせず、そのまま観察ができます。
・倍率 15～30,000倍
・試料最大寸法 Φ70mm
- 設備状況
- 稼働中