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高分解能３次元X線顕微鏡 (３D X-ray Microscope)
- 設備ID
- SH-012
- 設置機関
- 信州大学
- 設備画像
- メーカー名
- ツァイス (Zeiss)
- 型番
- Xradia 620 Versa
- 仕様・特徴
- 空間分解能500 nm 最小ボクセルサイズ40 nm
X線出力最大25 W（加速電圧30-160 kV)
- 設備状況
- 稼働中
電界放出型走査電子顕微鏡 (Field-Emission Scanning Electron Microscope)
- 設備ID
- SH-101
- 設置機関
- 信州大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- SU8000
- 仕様・特徴
- 加速電圧：0.5 ～ 30 kV
倍率：低倍率モード20 ～ 2,000倍
高倍率モード100 ～ 800,000倍
分析機能：EDX付
- 設備状況
- 稼働中
走査型電子顕微鏡(JSM-7100F) (Electron Microscopy System)
- 設備ID
- TH-701
- 設置機関
- 豊橋技術科学大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子, アルバック (JEOL, ULVAC)
- 型番
- JSM-7100F, VPS-050
- 仕様・特徴
- 【JSM-7100F】
測長機能付きの走査型電子顕微鏡。
最大倍率：1,000,000倍
加速電圧：0.5-30kV
分解能：1.2nm (30kV)
対応試料サイズ：φ4インチ以下
(付帯装置)
【VPS-050】
SEM観察時のチャージアップ防止のための金属(Au)膜コーティングを行う
試料サイズ：φ2インチ以下
- 設備状況
- 稼働中
ナノ物性測定用プローブ顕微鏡システム (Scanning probe microscope for measuring nano-region material property)
- 設備ID
- TT-019
- 設置機関
- 豊田工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- ブルカー (Bruker)
- 型番
- Multimode顕微鏡
- 仕様・特徴
- ・導電性（TUNA)
・表面電位、STM機能
・原子、分子分解能
- 設備状況
- 稼働中
熱電子SEM (SEM)
- 設備ID
- TU-314
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- S3700N
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
ロードロックは4インチまで
EDX付、低真空モード付、光学画像ナビゲーション付
- 設備状況
- 稼働中
断面SEM (FE-SEM)
- 設備ID
- TU-315
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- S5000
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片専用
インレンズ式（磁性体導入不可）
- 設備状況
- 稼働中
測長SEM (CD-SEM)
- 設備ID
- TU-317
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- CS4800
- 仕様・特徴
- 6、8インチは自動搬送、4インチ以下は手動搬送
計測再現性：1nm(3σ)
- 設備状況
- 稼働中
クイックコータ (Quick coater)
- 設備ID
- TU-318
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- サンユー電子 (Sanyu)
- 型番
- SC-701MkII
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～2インチ
- 設備状況
- 稼働中
パーク・システムズAFM (Park systems AFM)
- 設備ID
- TU-319
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- パーク・システムズ (Park systems)
- 型番
- NX20
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
- 設備状況
- 稼働中
日立FE-SEM (Hitachi FE-SEM)
- 設備ID
- TU-331
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- SU8600
- 仕様・特徴
- 電解放出型走査電子顕微鏡、FE-SEM
・サンプルサイズ：小片～8インチ
・観察範囲：6インチまでは全面、8インチウェハは一部
・EDS（EDX）付
- 設備状況
- 稼働中