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走査型プローブ顕微鏡 (Scanning Probe Microscope)
- 設備ID
- OS-125
- 設置機関
- 大阪大学
- 設備画像
- メーカー名
- 株式会社日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech Science Corporation)
- 型番
- AFM5000/AFM5300E
- 仕様・特徴
- 【特徴】
AFM,c-AFM,STM,DFM,MFM,KFM,PRM,電流マッピング,SNDMなどが測定可能な走査型プローブ顕微鏡です。
温度制御、調湿制御機構を備えており、真空下での測定も可能です。
500ｍTの磁場が試料水平方向に印加可能です。
【仕様】
試料サイズ：15mmφ
温度制御：-120～300℃
調湿制御：30～70％
真空中測定：10E-4Paまで可能
磁場印加：試料水平方向に500ｍT
- 設備状況
- 稼働中
EBSD解析装置 (EBSD analyzer)
- 設備ID
- RO-522
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL Ltd.)
- 型番
- JSM-7100F
- 仕様・特徴
- 【技術代行専用】
EBSD測定により試料結晶面方位、結晶粒マッピング等の結晶構造解析を行う。
- 設備状況
- 稼働中
走査電子顕微鏡（SEM） (Field emission scanning electron microscope)
- 設備ID
- RO-527
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL Ltd.)
- 型番
- JSM-IT800
- 仕様・特徴
- ショットキｰ電界放出型電子銃，10V～30kV、
最高分解能0.5nm，
- 設備状況
- 稼働中
原子間力顕微鏡 (AFM)
- 設備ID
- RO-533
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- セイコーインスツルメンツ (Seiko Instruments Inc.)
- 型番
- SPI3800
- 仕様・特徴
- 分解能：z:0.01nm, Ｘ、Ｙ：0.1nm,
視野：最小5nm角、最大 20μm角、
- 設備状況
- 稼働中
複合ビーム加工観察装置 (Dual beam analysis system )
- 設備ID
- SH-007
- 設置機関
- 信州大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JIB-4610F
- 仕様・特徴
- FE-SEM 加速電圧 0.1～30ｋV
FIB 分解能4nm 加速電圧 1～30kV
Cryoオプション付き ピックアップシステム付き
- 設備状況
- 稼働中
高分解能３次元X線顕微鏡 (３D X-ray Microscope)
- 設備ID
- SH-012
- 設置機関
- 信州大学
- 設備画像
- メーカー名
- ツァイス (Zeiss)
- 型番
- Xradia 620 Versa
- 仕様・特徴
- 空間分解能500 nm 最小ボクセルサイズ40 nm
X線出力最大25 W（加速電圧30-160 kV)
- 設備状況
- 稼働中
電界放出型走査電子顕微鏡 (Field-Emission Scanning Electron Microscope)
- 設備ID
- SH-101
- 設置機関
- 信州大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- SU8000
- 仕様・特徴
- 加速電圧：0.5 ～ 30 kV
倍率：低倍率モード20 ～ 2,000倍
高倍率モード100 ～ 800,000倍
分析機能：EDX付
- 設備状況
- 稼働中
走査型電子顕微鏡(JSM-7100F) (Electron Microscopy System)
- 設備ID
- TH-701
- 設置機関
- 豊橋技術科学大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子, アルバック (JEOL, ULVAC)
- 型番
- JSM-7100F, VPS-050
- 仕様・特徴
- 【JSM-7100F】
測長機能付きの走査型電子顕微鏡。
最大倍率：1,000,000倍
加速電圧：0.5-30kV
分解能：1.2nm (30kV)
対応試料サイズ：φ4インチ以下
(付帯装置)
【VPS-050】
SEM観察時のチャージアップ防止のための金属(Au)膜コーティングを行う
試料サイズ：φ2インチ以下
- 設備状況
- 稼働中
ナノ物性測定用プローブ顕微鏡システム (Scanning probe microscope for measuring nano-region material property)
- 設備ID
- TT-019
- 設置機関
- 豊田工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- ブルカー (Bruker)
- 型番
- Multimode顕微鏡
- 仕様・特徴
- ・導電性（TUNA)
・表面電位、STM機能
・原子、分子分解能
- 設備状況
- 稼働中
熱電子SEM (SEM)
- 設備ID
- TU-314
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- S3700N
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
ロードロックは4インチまで
EDX付、低真空モード付、光学画像ナビゲーション付
- 設備状況
- 稼働中