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バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム (High performance focused ion beam system （FIB-SEM))
- 設備ID
- NU-105
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
- 型番
- ETHOS NX5000
- 仕様・特徴
- FIB-SEM
FIB, SEM, STEM, Ar Gun, EDS
FIB, SEM 最大加速電圧：30kV
- 設備状況
- 稼働中
微細構造解析3Dシステム JIB-PS500i FIB-SEM (JIB-PS500i FIB-SEM)
- 設備ID
- NU-107
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JIB-PS500i FIB-SEM
- 仕様・特徴
- FIB (Focus Ion Beam)機能と電子顕微鏡のSTEM機能を併せ持つ装置
電子顕微鏡観察用に各種材料を薄片化加工する。
FIB装置で試料を切削しながらSEM像を撮影し、試料内部を履帯観察できる
- 設備状況
- 稼働中
微細構造解析3Dシステム GeminiSEM560 (GeminiSEM560)
- 設備ID
- NU-108
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- Zeiss (Zeiss)
- 型番
- GeminiSEM560
- 仕様・特徴
- 極低加速でのプローブ極極小化によるSEM高分解能の撮影が可能。
加速電圧：0.02 ～30kV
EDSによる元素分析装置付属
- 設備状況
- 稼働中
原子間力顕微鏡 (Atomic force microscope)
- 設備ID
- NU-204
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- Bruker AXS (Bruker AXS)
- 型番
- Dimension3100
- 仕様・特徴
- ・スキャン領域：XY方向 約90μm，Z方向 約6μm
・試料サイズ：最大150 mmφ－12 mmT
・測定モード AFM，MFM，EFM，LFM，表面電位顕微鏡，電流像
- 設備状況
- 稼働中
走査型電子顕微鏡 (Scanning electron microscope)
- 設備ID
- NU-227
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
- 型番
- S5200
- 仕様・特徴
- ・加速電圧：0.5kV～30kV
・分解能：0.5nm(30kV)
・倍率：～2,000,000
・最大試料サイズ：5mm x 9.5mm
- 設備状況
- 稼働中
走査型電子顕微鏡 (Scanning electron microscope)
- 設備ID
- NU-228
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
- 型番
- S4300
- 仕様・特徴
- ・加速電圧：0.5kV～15kV
・分解能：15nm(30kV)
・倍率：～500,000
・最大試料サイズ：直径100 mm
- 設備状況
- 稼働中
高精度電子線描画装置 (Scanning electron microscope with add-on lithography system )
- 設備ID
- NU-249
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 サンユー電子 (JEOL Sanyu Electron)
- 型番
- JSM-7000FK SPG-724
- 仕様・特徴
- ・分解能：1.2 nm(30kV)
・倍率：×10～×1,000,000
・試料室：最大200 mm
・描画方式：ラスタースキャン方式/ブロックスキャン方式
・描画フィールド：50 µm□/100 µm□/200 µm□/500 µm□（ラスタースキャン），2,500 µm□，1ブロック＝2.5 µm□（ブロックスキャン）
- 設備状況
- 稼働中
高分解能走査型電子顕微鏡 (High resolutiion scanning electron microscopy)
- 設備ID
- NU-263
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JSM-IT800
- 仕様・特徴
- ・加速電圧：0.01kV～30kV
・ステージバイアス電圧：0〜-5kV
・分解能：0.5nm(15kV)，0.7nm(1kV)
・倍率：～2,000,000
・最大試料サイズ：170mmφ x 45mm
・EDS分析元素範囲：Be〜Cf
- 設備状況
- 稼働中
原子間力顕微鏡 (Atomic force microscope)
- 設備ID
- NU-264
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- パーク・システムズ (Park Systems)
- 型番
- NX20
- 仕様・特徴
- ・スキャン領域：XY方向100µm，Z方向15µm
・試料サイズ：最大200mmφ－20mmt
・測定モード AFM，MFM，EFM，LFM，FMM，C-AFM，ナノリソグラフィ
- 設備状況
- 稼働中
SEM付集束イオンビーム装置 (Focused ion beam system with SEM)
- 設備ID
- OS-102
- 設置機関
- 大阪大学
- 設備画像
- メーカー名
- カールツァイス (Carl Zeiss)
- 型番
- Nvision 40D with NPVE
- 仕様・特徴
- 【特徴】
30kVのGa+イオンによるFIB加工及び加工時のSEM観察が可能。FIBによる気相蒸着によりPtおよびSiO2による配線の修復が可能。
【仕様】
ステージサイズ：max 4 inch
Pt銃、SiO2銃装備
FE-SEMユニット, 加速電圧：30kV
検出器：InLens, SE, Esb
FIBユニット, 加速電圧：30kV
最小ビーム径：4nm
- 設備状況
- 稼働中