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走査プローブ顕微鏡 (Scanning probe microscope)
- 設備ID
- MS-204
- 設置機関
- 自然科学研究機構 分子科学研究所
- 設備画像
- メーカー名
- Bruker (Bruker)
- 型番
- Dimension XR Icon NanoEDimension XR Icon NanoEC
- 仕様・特徴
- 形状測定、機械特性測定、電気特性測定、電気化学
大気非暴露ボックス、環境制御ユニット(-35℃～250℃、湿度5%～50％）
- 設備状況
- 稼働中
精密形状測定・局所磁気測定・局所電気特性評価装置 (Scanning Probe Microscope for Morphological, Magnetic and Electrical Characterization)
- 設備ID
- NI-017
- 設置機関
- 名古屋工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JSPM-5200TM
- 仕様・特徴
- 分解能：原子分解能。カーボンナノファイバー(CNF)探針によるソフトマテリアル低損傷観察可能。
測定モード：形状、電気特性、磁気特性測定。
- 設備状況
- 稼働中
走査電子顕微鏡 (Scanning Electron Microscope)
- 設備ID
- NI-019
- 設置機関
- 名古屋工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech Science Corporation)
- 型番
- S-4700
- 仕様・特徴
- FE-SEM、100倍～500K倍観察、EDX分析装置付属
- 設備状況
- 稼働中
複合ビーム加工観察装置群 (Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscopes)
- 設備ID
- NI-021
- 設置機関
- 名古屋工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子、マイクロサポート (JEOL, Micro Support Co.,Ltd)
- 型番
- JIB-4700F, AxisPro FC
- 仕様・特徴
- 1. FIB：加速電圧1～30kV、ビーム電流1pA ～90nA、倍率×50～×1,000,000
2.SEM：加速電圧1～30kV、倍率×10 ～ 1,000,000
3.最大試料サイズ：Φ30mm×高さ15mm
4.電動マイクロマニピュレーターシステム付設（AxisPro FC: TEM観察薄片のピックアップ用）
- 設備状況
- 稼働中
液中原子間力顕微鏡 (Atomic force microscope (AFM) in liquid)
- 設備ID
- NM-005
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
- メーカー名
- ブルカー (Bruker)
- 型番
- NanoWizard 4 XP
- 仕様・特徴
- 【AFM測定】
・液中観察：可
・走査範囲：水平100µm、垂直15µm
・動作モード：コンタクトモード、タッピングモード、フォースカーブマッピングモード、粘弾性測定、MFM観察
【直上顕微鏡】
・観察倍率：10倍
【倒立顕微鏡】
・観察法：明視野、位相差、蛍光
・対物レンズ：10倍、40倍
【その他】
・温度制御：室温＋60℃まで
- 設備状況
- 稼働中
卓上走査型電子顕微鏡装置群 (Tabletop scanning electron microscope (SEM))
- 設備ID
- NM-006
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- Miniscope TM4000PlusII Miniscope TM3000
- 仕様・特徴
- 【TM4000PlusII】
・倍率：10倍~10万倍
・加速電圧 : 5 kV、10 kV、15 kV、20 kV
・画像信号 : 反射電子, 二次電子
・真空モード：導電体（反射電子のみ）、標準、帯電軽減
・EDX：あり
【TM3000】
・倍率：15倍～3万倍
・加速電圧 : 5 kV、15 kV
・画像信号 : 反射電子のみ
・観察モード：通常、帯電軽減
・EDX：あり
- 設備状況
- 稼働中
ショットキー電界放出型走査電子顕微鏡（JSM-7001F） (Schottky FE-SEM (JSM-7001F))
- 設備ID
- NM-226
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JSM-7001F
- 仕様・特徴
- ・加速電圧：0.5～30 kV
・二次電子像分解能：1.2 nm （加速電圧30 kV）、3.0 nm （加速電圧1 kV）
・倍率：10～1百万倍
・最大試料サイズ：φ100 mm
・反射電子検出器搭載
・加熱ステージ（最高1000℃）
・EDS付属（JED-2300）
・EBSD：TSL OIM
・格子歪み測定プログラムCrossCourt Ver.3、Ver.4+
- 設備状況
- 稼働中
電界放出形走査電子顕微鏡（SU8000） (FE-SEM (SU-8000))
- 設備ID
- NM-227
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- SU-8000
- 仕様・特徴
- ・対物レンズ：セミインレンズ型
・加速電圧：0.5～30 kV
・二次電子像分解能：1.0 nm（加速電圧15 kV）、1.4 nm（リターディングモード：加速電圧1 kV）
・倍率：20～80万倍
・反射電子検出器搭載
・STEM（BF）検出器搭載
・EDS付属（Bluker FlatQUAD）
- 設備状況
- 稼働中
電界放出形走査電子顕微鏡（JSM-6500F） (Field Emission Scanning Electron Microscope (JSM-6500F))
- 設備ID
- NM-231
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JSM-6500F
- 仕様・特徴
- ・電界放出形電子銃
・加速電圧：0.5～30 kV
・二次電子像分解能：1.5 nm（加速電圧15 kV）、 5.0 nm（加速電圧1 kV）
・倍率：10～50万倍
・最大試料サイズ：φ100 mm
・反射電子検出器搭載
・EDS付属（JED-2300）
エネルギー分解能：133 eV以下
検出可能元素：B～U
- 設備状況
- 稼働中
走査電子顕微鏡（JSM-6510） (Scanning Electron Microscope（JSM-6510）)
- 設備ID
- NM-232
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JSM-6510
- 仕様・特徴
- ・Wフィラメント電子銃
・加速電圧：0.5～30 kV
・二次電子分解能：3.0 nm（加速電圧30 kV）、 8.0 nm (加速電圧3 kV）、 15.0 nm（加速電圧1 kV）
・倍率：5～30万倍
・最大試料サイズ：φ150 mm
・操作ナビ画面にナビゲーション表示
・試料交換手順はフロー式で初心者でも簡単に試料交換可能
- 設備状況
- 稼働中