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電界放出型走査電子顕微鏡 (Field-Emission Scanning Electron Microscope)
- 設備ID
- BA-008
- 設置機関
- 筑波大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- SU-8020
- 仕様・特徴
- 二次電子分解能；1.0nm（加速電圧15kV,WD=4mm） 1.3nm（照射電圧1kV,WD=1.5mm）
照射電圧；0.1～30kV
低倍率モード；20～2,000倍（写真倍率）
高倍率モード；100～800,000倍（写真倍率）
SE/BSE信号可変方式
- 設備状況
- 稼働中
走査型プローブ顕微鏡 （SPM) (Scanning probe microscope (SPM))
- 設備ID
- CT-009
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- ブルカー (Bruker)
- 型番
- MultiMode 8J
- 仕様・特徴
- ・大気中、液中イメージングが可能
・ナノ機械特性（弾性率、吸着力）、ナノ電気特性（表面電位、導電性）の測定が可能
- 設備状況
- 稼働中
走査型電子顕微鏡（SEM） (Scanning electron microscope (SEM))
- 設備ID
- CT-010
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- TM4000Plus
- 仕様・特徴
- ・加速電圧：5、10、15 ｋV
・倍率：10~100,000倍
・装備オプション：EDS、UVD、カメラナビゲーションシステム
- 設備状況
- 稼働中
電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM） (Field emission scanning electron microscope (FE-SEM))
- 設備ID
- CT-011
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JSM-7800F
- 仕様・特徴
- ・加速電圧：0.01~30 kV
・倍率： 25~1,000,000倍
・装備オプション：EDS、STEM、BED、USD、低真空システム
- 設備状況
- 稼働中
ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡群 (Field emission scanning electron microscope)
- 設備ID
- GA-013
- 設置機関
- 香川大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子, 日本電子, 日本電子, ディエナー (JEOL, JEOL, JEOL, diener)
- 型番
- JSM-IT800SHL, JCM-7000, JFC-3000FC, Femto
- 仕様・特徴
- ・JSM-IT800SHL
サンプルサイズ：～φ100mm
分解能：0.7nm(20kV)1.3nm(1kV)
倍率：×27～5,480,000(表示倍率)
加速電圧：0.01～30kV
分析機能：EDS
・JCM-7000
サンプルサイズ：～φ25mm(傾斜回転有)～φ80mm(傾斜回転無)
倍率：×10～100,000
加速電圧：5kV、10kV、15kV(3段)
- 設備状況
- 稼働中
オージェ電子分光装置 (Auger electron spectroscope)
- 設備ID
- HK-202
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JAMP-9500F
- 仕様・特徴
- 加速電圧:0.5～30kV、プローブ電流:10-11～2×10-7A
二次電子分解能:3nm
オージェ分析プローブ径最小:8nm
アルゴンイオンエッチング銃
EBSD測定(TSLソリューションズ ORION検出器)
トランスファーベッセル
画面共有システムによる遠隔立ち会い
Spectrum investigator、Spectrum Imaging
- 設備状況
- 稼働中
電界放出形電子プローブマイクロアナライザー (Field emission electron probe micro analyzer (FE-EPMA))
- 設備ID
- HK-303
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JXA-8530F
- 仕様・特徴
- 加速電圧：1～30kV
分析機能：WDS
反射電子検出器装備
軟X線発光分光器装備
- 設備状況
- 稼働中
集束イオンビーム加工・観察装置 (Focused Ion Beam and Scanning Electron Microscope system(FIB-SEM))
- 設備ID
- HK-304
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JIB-4600F/HKD
- 仕様・特徴
- 加速電圧：1～30kV
分析機能：EDS、EBSD、3D観察
像分解能：5nm（30kV）
反射電子検出器装備
- 設備状況
- 稼働中
ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡 (Schottky Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM))
- 設備ID
- HK-305
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JSM-7200F
- 仕様・特徴
- 加速電圧：0.01-30kV
分析機能：EDS
像分解能：1.6nm (1kV)、 1.0nm (20kV)
試料移動範囲：X: 70mm Y: 50mm Z: 2~41mm
反射電子検出器装備
- 設備状況
- 稼働中
超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 (High resolution Field-emission scanning electron microscope)
- 設備ID
- HK-404
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- Regulus8230
- 仕様・特徴
- 加速電圧：0.5～30kV
分析機能：EDS
STEM機能
試料サイズ：6インチまで
遠隔画面共有
- 設備状況
- 稼働中