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高性能分光エリプソメータ (Spectroscopic Ellipsometry)
- 設備ID
- WS-026
- 設置機関
- 早稲田大学
- 設備画像
- メーカー名
- 株式会社堀場製作所 (HORIBA, Ltd.)
- 型番
- UVISEL ER AGMS iHR320
- 仕様・特徴
- 波長範囲：190-2100nm
測定角度：60°、70°、75°
150mmウェハ対応、XY軸はマニュアルステージ
- 設備状況
- 稼働中
ダイシングソー (dicing saw)
- 設備ID
- WS-027
- 設置機関
- 早稲田大学
- 設備画像
- メーカー名
- 株式会社ディスコ (DISCO Corporation)
- 型番
- DAD321
- 仕様・特徴
- ø 6対応のマニュアルダイシングソー
最大ワークサイズ 160 x 160
切削可能範囲
X軸：192mm
Y軸：162mm
Z軸有効ストローク：28.2ｍｍ
回転数範囲：3,000 - 40,000RPM
- 設備状況
- 稼働中
データコンバートシステム (data converter)
- 設備ID
- WS-028
- 設置機関
- 早稲田大学
- 設備画像
- メーカー名
- 有限会社君塚製作所 (KSS Internet)
- 型番
- 特注品
- 仕様・特徴
- 装置データコンバートシステム及びバッチ送信システム
データ送信用PC DL20 Gen10 2LFF SATA 専用カスタマイズモデル
データ保存用サーバDL160 Gen10 8SFF SATA 専用カスタマイズモデル
データ保存用 ストレージ QNAP T1683XURN8016
ネットワーク装置 HUB NetGeAR XS712T-200AJS
- 設備状況
- 稼働中
電気計測装置群（オシロスコープ、スペクトルアナライザー、ＬＣＲメーター、等） (Electrical measuring device group)
- 設備ID
- WS-029
- 設置機関
- 早稲田大学
- 設備画像
- メーカー名
- キーサイト株式会社エヌエフ回路設計ブロック (Keysight Technologies, Inc.NF CORPORATION)
- 型番
- DSO X-3054TN9322CZM2371
- 仕様・特徴
- １，オシロスコープ：DSOX3054T
帯域幅：500 MHz、
サンプリングレート： 4 GSa/s
入力インピーダンス： 1 M Ω
２，スペアナ：N9322C
周波数:9 kHz to 7 GHz
最大解析帯域幅:1 MHz
３，LCRメータM2371
測定周波数 1mHz～100kHz、設定分解能5桁
測定信号レベル 10mVrms～5Vrms/1μArms~200mArms
DCバイアス用電源内蔵 0～+2.5V
- 設備状況
- 稼働中
プラズマCVD装置 (TEOS-CVD)
- 設備ID
- WS-030
- 設置機関
- 早稲田大学
- 設備画像
- メーカー名
- サムコ株式会社 (Samco Inc.)
- 型番
- PD-220
- 仕様・特徴
- プラズマCVDの原理による成膜
高いカバレッジ成形
基板サイズ６インチ以下
面内分布 5%以内(仕様)
標準条件での基板温度300℃
- 設備状況
- 稼働中
共焦点レーザー走査型顕微鏡 (Confocal Laser Scanning Microscopy: CLSM)
- 設備ID
- WS-031
- 設置機関
- 早稲田大学
- 設備画像
- メーカー名
- 株式会社 エビデント (EVIDENT)
- 型番
- FLUOVIEW FV3000RS
- 仕様・特徴
- ・対物レンズ：10倍、20倍、40倍、60倍
・励起光源：405nm, 445nm, 488nm, 514nm, 561nm, 640nm
・高精細イメージング：最大4096x4096ピクセル
・高速イメージング：30fps(512x512ピクセル)
・Ｚドリフトコンペンセーター(IX3-ZDC)によるフォーカスの自動補正機能
・電動ステージ付き
- 設備状況
- 稼働中
グロー放電分光分析装置 (Glow Discharge OpticalEmission Spectrometry)
- 設備ID
- WS-032
- 設置機関
- 早稲田大学
- 設備画像
- メーカー名
- 株式会社堀場製作所 (HORIBA, Ltd.)
- 型番
- GDA750
- 仕様・特徴
- 軽元素（N, O, H等）の分析可能、分析範囲4mmφ以上、10mm□以上4"までのSi、ガラス基板
- 設備状況
- 稼働中
ツインドライブ型レオメータ (Twin-drive rotational rheometer)
- 設備ID
- YG-001
- 設置機関
- 山形大学
- 設備画像
- メーカー名
- アントンパール (Anton Paar)
- 型番
- MCR702-Tg
- 仕様・特徴
- ・高分子材料を溶融し、流動状態にして加工する際に重要な基礎データとなる粘弾性を測定
・２つのトルクトランスデューサーとリニアドライブを装備、従来のせん断速度範囲から高速側の測定、さらに回転運動に加えて、ねじり、曲げ、圧縮モードの動的粘弾性測定も可能
・付属オーブンで、高温での動的粘弾性測定も可能
- 設備状況
- 稼働中
共押出システム (Co-extrusion system)
- 設備ID
- YG-002
- 設置機関
- 山形大学
- 設備画像
- メーカー名
- ・池貝 ・田辺プラスチックス機械 ・ジーエムエンジニアリング (・IKEGAI ・TANABE PLASTICS MACHINERY ・GM ENGINEERING)
- 型番
- ・IKG25-25 ・yyy20-25 ・GM25-25EX
- 仕様・特徴
- ・多層フィルム作成用の押出機
・一軸、2種押出
・フィードブロック追加で3種押出可能
・異種押出可能
- 設備状況
- 稼働中
形状解析レーザ顕微鏡 (3D laser scanning confocal microscope)
- 設備ID
- YG-003
- 設置機関
- 山形大学
- 設備画像
- メーカー名
- キーエンス (Keyence)
- 型番
- VK-X100
- 仕様・特徴
- レーザー共焦点光学系に高速XYスキャナーを組み合わせることで高解像度の合焦画像と試料の高さ（形状や荒さ）に関するデータを取得
- 設備状況
- 稼働中