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短波長レーザー顕微鏡[VK-9700] (Laser Microscope〔VK-9700〕)

設備ID
AT-060
設置機関
産業技術総合研究所(AIST)
設備画像
短波長レーザー顕微鏡[VK-9700]
メーカー名
キーエンス (KEYENCE)
型番
VK-9700
仕様・特徴
・型式:VK-9700 Generation II(キーエンス社製)
・試料サイズ:100mmφ
・倍率:最大18000倍
・分解能:1 nm(Z方向、高さ)
・高さ測定範囲:7 mm
・表示分解能:0.001 μm
・幅測定表示分解能:0.001 μm
・フレームピクセル数:2048×1536
・モノクロ映像:14 bit
・カラー映像:RGB各8 bit、高さ測定用:24 bit
・光学ズーム:1x~6x
・測定レーザー:波長408 nm、最大出力0.9 mW
・受光:光電子増倍管
・観測:100 Wハロゲン光源
・撮像素子:カラーCCDイメージセンサ
設備状況
稼働中

短波長レーザー顕微鏡[OLS-4100] (Laser Microscope〔OLS-4100〕)

設備ID
AT-061
設置機関
産業技術総合研究所(AIST)
設備画像
短波長レーザー顕微鏡[OLS-4100]
メーカー名
オリンパス (Olympus)
型番
OLS-4100
仕様・特徴
・型式:OLS4100
・試料サイズ:100mmφ
・倍率:最大17280倍
・高さ測定範囲:10mm
・XYステージ:100mm×100mm(電動ステージ)
・表示分解能:0.001μm
・フレームピクセル数:4096×4096
・光学ズーム:1x~8x
・測定レーザー:波長405nm、最大出力1mW
・微分干渉ユニット:微分干渉スライダ(U-DICR)、偏光板ユニット内蔵
設備状況
稼働中

3D測定レーザ顕微鏡 (3D Measuring laser microscope)

設備ID
CT-007
設置機関
公立千歳科学技術大学
設備画像
3D測定レーザ顕微鏡
メーカー名
オリンパス (Olympus)
型番
LEXT OLS4000
仕様・特徴
・レーザ波長: 405 nm 半導体レーザ
・総合倍率: x 108~17,280
設備状況
稼働中

蛍光顕微鏡 (Fluorescence microscope)

設備ID
CT-008
設置機関
公立千歳科学技術大学
設備画像
蛍光顕微鏡
メーカー名
オリンパス (Olympus)
型番
BX51DP73
仕様・特徴
・落射型
・位相差観察や微分干渉観察との同時併用観察が可能
設備状況
稼働中

白色干渉式非接触三次元形状測定器 (White light interference type non-contact three-dimensional shape measuring system)

設備ID
GA-007
設置機関
香川大学
設備画像
白色干渉式非接触三次元形状測定器
メーカー名
ブルカー・エイエックスエス (Bruker)
型番
NT91001A-in motion
仕様・特徴
in-situ駆動観察
測定方式:垂直走査型干渉方式
位相シフト干渉方式
分解能:X,Y方向:1μm
Z方向:0.1~1nm
試料ステージ:6インチ
設備状況
稼働中

レーザー式非接触三次元形状測定器 (Laser non-contact three-dimensional shape measuring system)

設備ID
GA-008
設置機関
香川大学
設備画像
レーザー式非接触三次元形状測定器
メーカー名
三鷹光器 (Mitaka Kohki)
型番
NH-3N
仕様・特徴
計測方法:レーザープローブ方式
計測範囲:150mm×150mm×10mm(X、Y、Z)
測定分解能:0.1×0.1×0.01μm
設備状況
稼働中

デジタルマイクロスコープ (Digital microscope)

設備ID
GA-009
設置機関
香川大学
設備画像
デジタルマイクロスコープ
メーカー名
ハイロックス (Hirox)
型番
KH-7700
仕様・特徴
有効画素数 : 201万画素
最高解像度 : 3000万画素
倍率 : ~400倍
設備状況
稼働中

白色干渉搭載レーザ顕微鏡 (White light interference type Laser Microscope)

設備ID
GA-014
設置機関
香川大学
設備画像
白色干渉搭載レーザ顕微鏡
メーカー名
キーエンス (KEYENCE)
型番
VK-X3100
仕様・特徴
倍率:×42~28,800
視野範囲:11?7398 μm
測定原理:レーザー共焦点、フォーカスバリエーション、白色干渉、分光干渉
レーザ光源波長:半導体レーザ404 nm
設備状況
稼働中

レーザー顕微鏡 (Laser Microscopy)

設備ID
HK-632
設置機関
北海道大学
設備画像
レーザー顕微鏡
メーカー名
キーエンス (KEYENCE)
型番
VK-9700/9710
仕様・特徴
・対物レンズ 10,x20,x50,x150
・レーザー波長 408nm
設備状況
稼働中

クライオ共焦点顕微鏡 (Cryogenic confocal microscopy)

設備ID
IT-034
設置機関
東京科学大学(旧:東京工業大学)
設備画像
クライオ共焦点顕微鏡
メーカー名
レニショー (Renishaw)
型番
inVia Reflex
仕様・特徴
クライオスタットのプラットフォーム温度 3.4~350 K(試料温度は3.5 Kよりも上昇)、レーザ波長 514 nm、対物レンズ 50倍、光検出器 アバランシェフォトダイオードおよび分光器、XYおよびXZの2次元発光マッピング、Hanbury-Brown Twiss計測
設備状況
稼働中
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