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陽電子プローブマイクロアナライザー(PPMA) (Positron Probe MicroAnalyzer (PPMA))

設備ID
AT-501
設置機関
産業技術総合研究所(AIST)
設備画像
陽電子プローブマイクロアナライザー(PPMA)
メーカー名
産総研自主開発 (AIST Original)
型番
仕様・特徴
電子の反粒子である陽電子のマイクロビームを作り、物質中の陽電子寿命のマッピング測定を行う装置。
原子が1個抜けた原子空孔、ナノボイドのサイズ、分布の評価が可能。
・陽電子源 : 電子加速器対生成方式
・陽電子ビーム径 : 0.01 mm ~ 10 mm
・陽電子ビームエネルギー : 1-30 keV
・寿命測定時間分解能 : 200-300 ps
設備状況
稼働中

X線光電子分光装置 (X-ray photoelectron spectroscope)

設備ID
HK-201
設置機関
北海道大学
設備画像
X線光電子分光装置
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JPS-9200
仕様・特徴
標準X線源Mg/Alツインアノード
モノクロX線源
エネルギー分解能:0.65eV(モノクロX線源)
アルゴンイオンエッチング銃
分析径:30μmφ~3mmφ
最大20点まで連続分析可、分析エリア:20mm×50mm
トランスファーベッセル
画面共有システムによる遠隔立ち会い
設備状況
稼働中

オージェ電子分光装置 (Auger electron spectroscope)

設備ID
HK-202
設置機関
北海道大学
設備画像
オージェ電子分光装置
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JAMP-9500F
仕様・特徴
加速電圧:0.5~30kV、プローブ電流:10-11~2×10-7A
二次電子分解能:3nm
オージェ分析プローブ径最小:8nm
アルゴンイオンエッチング銃
EBSD測定(TSLソリューションズ ORION検出器)
トランスファーベッセル
画面共有システムによる遠隔立ち会い
Spectrum investigator、Spectrum Imaging
設備状況
稼働中

電界放出形電子プローブマイクロアナライザー (Field emission electron probe micro analyzer (FE-EPMA))

設備ID
HK-303
設置機関
北海道大学
設備画像
電界放出形電子プローブマイクロアナライザー
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JXA-8530F
仕様・特徴
加速電圧:1~30kV
分析機能:WDS
反射電子検出器装備
軟X線発光分光器装備
設備状況
稼働中

集束イオンビーム加工・観察装置 (Focused Ion Beam and Scanning Electron Microscope system(FIB-SEM))

設備ID
HK-304
設置機関
北海道大学
設備画像
集束イオンビーム加工・観察装置
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JIB-4600F/HKD
仕様・特徴
加速電圧:1~30kV
分析機能:EDS、EBSD、3D観察
像分解能:5nm(30kV)
反射電子検出器装備
設備状況
稼働中

ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡 (Schottky Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM))

設備ID
HK-305
設置機関
北海道大学
設備画像
ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JSM-7200F
仕様・特徴
加速電圧:0.01-30kV
分析機能:EDS
像分解能:1.6nm (1kV)、 1.0nm (20kV)
試料移動範囲:X: 70mm Y: 50mm Z: 2~41mm
反射電子検出器装備
設備状況
稼働中

マイクロカロリーメーター高エネルギー分解能元素分析装置 (High resolution SEM with TES high energy resolution EDS)

設備ID
KU-003
設置機関
九州大学
設備画像
マイクロカロリーメーター高エネルギー分解能元素分析装置
メーカー名
日立ハイテクサイエンス、カールツァイス (Hitachi High-Tech Science)
型番
Zeiss-ULTRA55 + SII-TES
仕様・特徴
超伝導転移端検出器による高感度組成・状態分析(10eV@6KeV)、SDD(150mm2)検出器による組成・状態分析
設備状況
稼働中

汎用電子顕微鏡 (Conventional STEM/TEM)

設備ID
KU-019
設置機関
九州大学
設備画像
汎用電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-2100F
仕様・特徴
組織観察、元素分析、電子解析図形収集の汎用機
設備状況
稼働中

表面・界面分子振動解析装置 (Surface・interface molucular vibration analysis system)

設備ID
KU-503
設置機関
九州大学
設備画像
表面・界面分子振動解析装置
メーカー名
東京インスツルメンツ (Tokyo Instruments )
型番
Spectra-Physics
仕様・特徴
・検出器:STREAK SCOPE C4334(浜松ホトニクス)/検出器:光電子増倍管(浜松ホトニクス)ピコ秒YAGレーザー(EKSPLA社) 励起パルス幅:1.5 ps、励起波長:400 nm付近、偏光オプション付き,測定範囲:1500~4000 cm-1
設備状況
稼働中

電子プローブマイクロアナライザ(EPMA) (Electron Probe Micro Analyzer)

設備ID
MS-236
設置機関
自然科学研究機構 分子科学研究所
設備画像
電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JXA-8230 SS-94000SXES 軟X線分光器搭載
仕様・特徴
50 eVまでの低エネルギーを測定できる軟X線分光器(SXES)を搭載。
設備状況
稼働中
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