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高輝度放射光XAFSシステム (XAFS measuring station)
- 設備ID
- AE-003
- 設置機関
- 日本原子力研究開発機構（JAEA）
- 設備画像
- メーカー名
- カスタム (Home-made)
- 型番
- なし
- 仕様・特徴
- 試料中の特定元素の原子価や局所構造を決定
・エネルギー範囲：4～72keV
・測定方法：通常の透過法／微量元素用の蛍光法、通常のStepScan／高速計測対応（QuickScan）
・試料：少量核燃物質、国際規制物資、RI・アクチノイド試料
・KBミラーによる数十μm程度の空間分解能
・クライオスタットによる低温測定
・電気炉による高温測定
- 設備状況
- 稼働中
エネルギー分散型XAFS装置 (Energy-dispersive XAFS measuring station)
- 設備ID
- AE-006
- 設置機関
- 日本原子力研究開発機構（JAEA）
- 設備画像
- メーカー名
- カスタム (Home-made)
- 型番
- なし
- 仕様・特徴
- 元素の局所構造・電子状態を時間分解観測
・観測可能元素：Ti以上
・温度：20-1000 K
・測定レート：最大100 Hz
・ガスフロー制御システムあり
・ポテンシオスタットによる電気化学測定可能
- 設備状況
- 稼働中
軟X線光電子分光装置 (Soft X-ray photoelectron spectrometer)
- 設備ID
- AE-007
- 設置機関
- 日本原子力研究開発機構（JAEA）
- 設備画像
- メーカー名
- カスタム（電子分析アナライザー: VG Scienta） (Home-made (Electron Analyzer: VG Scienta))
- 型番
- 電子分析アナライザー: SES-2002
- 仕様・特徴
- 角度分解光電子分光（ARPES）測定も可能な光電子分光装置。希土類及び3d遷移金属化合物の詳細な電子構造を調べることができる。
・光エネルギー：400-1500 eV
・エネルギー分解能：50-200 meV
・試料温度：6-300 K
- 設備状況
- 稼働中
硬X線光電子分光装置 (Hard X-ray photoelectron spectrometer)
- 設備ID
- AE-008
- 設置機関
- 日本原子力研究開発機構（JAEA）
- 設備画像
- メーカー名
- シエンタオミクロン社 (Scienta Omicron, Inc.)
- 型番
- 光電子アナライザー: EW4000-１０keV
- 仕様・特徴
- 硬Ｘ線を励起光として用いることで、バルク敏感な電子状態の観測ができる。
・励起光エネルギー：6, 8, 10keV選択可能
・KBミラーによる数十μm程度の空間分解能
・試料温度：RT-900K
・中和銃による絶縁物測定
- 設備状況
- 稼働中
表面化学実験ステーション (Surface chemistry experimental apparatus)
- 設備ID
- AE-010
- 設置機関
- 日本原子力研究開発機構（JAEA）
- 設備画像
- メーカー名
- オミクロン (Scienta Omicron, Inc.)
- 型番
- Hipp-3
- 仕様・特徴
- "表面界面の電子状態の精密分析や時分割観察が可能
・高輝度・高エネルギー分解能高輝度軟X線放射光(400～1700eV)
・複合表面分析（LEED、Arスパッター、SPM、蒸着（実績：Hf、Ge、Cs、Auなど）
・超高真空(2×10-8Pa)～ガス雰囲気(10-3Pa)
室温～1150℃加熱中の光電子分光観察
・材料プロセスの時分割観察、超音速分子線を使った反応ダイナミクス
・測定試料：半導体（Si、Ge、SiC、GaN etc）、金属（Cu、Ni、各種合金）、グラフェン等の新材料、ナノ粒子、機能物質など。単結晶、多結晶、アモルファス、薄膜等の固体試料
・導入ガス：酸素、水素、水、ギ酸、一酸化窒素、メタン、エタン、塩化メチル、NO2、COなど"
- 設備状況
- 稼働中
顕微レーザーラマン分光装置(RAMAN) (Laser Raman Spectrometer（RAMAN）)
- 設備ID
- AT-065
- 設置機関
- 産業技術総合研究所（AIST)
- 設備画像
- メーカー名
- サーモフィッシャー (Thermo Fisher Scientific)
- 型番
- DXR-Raman Microscope
- 仕様・特徴
- ・励起光:532nm（高輝度DPSS）、780nm（高輝度ダイオード）
・測定波数範囲:50-3300cm-1
・スペクトル分解能:
フルレンジグレーティング;5 cm-1
高分解能グレーティング;3 cm-1
・最高空間分解能:1μmφ[使用レーザーの回折限界による]
・コンフォーカルによる深さ分解能:2μm～
・XYオートステージ:（可動範囲：76mm×100mm程度、0.1μｍStep）
・ X-Yと深さ方向のラマンマッピングが可能
- 設備状況
- 稼働中
顕微フーリエ変換赤外分光装置(FT-IR) (Fourier Transform Infrared Spectrometer (FT-IR))
- 設備ID
- AT-066
- 設置機関
- 産業技術総合研究所（AIST)
- 設備画像
- メーカー名
- サーモフィッシャー (Thermo Fisher Scientific)
- 型番
- Nicolet6700(本体)、Continuμm(顕微)
- 仕様・特徴
- ・光源:ETC EverGlo光源（9600～20cm-1）
・最高分解能:0.09cm-1
・測定波数範囲
350-7800cm-1 (本体: 検出器DTGS使用時 )、
600-7800cm-1（本体及び顕微：検出器MCT-A使用時）
・測定方法
本体：透過、ATR(ダイヤモンド、Ge)
顕微：透過、反射、オートステージによるマッピング機能
- 設備状況
- 稼働中
微小部蛍光X線分析装置 (Microscopic X-Ray Fluorescent Analyzer（XRF）)
- 設備ID
- AT-072
- 設置機関
- 産業技術総合研究所（AIST)
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech)
- 型番
- SEA_5210Ａ
- 仕様・特徴
- ・型式:SEA_5210A
・試料サイズ: 80mm□, 35mmt（上面照射方式）
・分析元素:Na～U
・試料形態:固形、薄膜（液及び粉は要許可）
・コリメータ:0.1, 1, 2.5mmφ
・雰囲気:大気、真空
・ソフトウエア:定性分析、定量分析（FP法、検量線法）、薄膜分析（膜厚、組成）、元素マッピング
- 設備状況
- 稼働中
エックス線光電子分光分析装置(XPS) (X-ray Photoelectron Spectroscopy Analysis System (XPS))
- 設備ID
- AT-074
- 設置機関
- 産業技術総合研究所（AIST)
- 設備画像
- メーカー名
- 島津製作所 (SHIMADZU)
- 型番
- KRATOS ANALYTICAL
- 仕様・特徴
- ・型式:KRATOS ANALYTICAL
・試料サイズ: 100 mmφ、, 高さ10mm （専用ホルダ使用で約20mm迄可）
・X線源:Rowland 円直径 500mm モノクロメータ付Al Kα （1486.6 eV）
・光電子分光器:軌道半径165mm 静電二重半球型アナライザー/球面鏡アナライザー複合型
・検出器:ディレイラインディテクター（DLD）システム
・スペクトル分析:100チャネル同時計測
・イメージング:256×256画素（最大分解能3μm）
・最小スペクトル分析面積:15μmΦ
・エネルギ分解能:0.48 eV以下（Ag 3d5/2光電子ピーク半値幅）
・帯電中和 均一低エネルギー電子照射
・光電子取り出し角度:垂直（標準）、0～90°（傾斜観察ホルダ使用）
* 傾斜観察時は試料サイズの制限があります。
・エッチングイオン銃:Ar＋、多原子（コロネンC24H12 ）イオン
・搭載オプション:He紫外線光源（UPS用 21.2, 40.2 eV）
- 設備状況
- 稼働中
原子層堆積装置_3付帯ＸＰＳ装置（アルバック・ファイ） (X-ray Photoelectron Spectroscopy Analysis System (XPS))
- 設備ID
- AT-103
- 設置機関
- 産業技術総合研究所（AIST)
- 設備画像
- メーカー名
- アルバック・ファイ (ULVAC-PHI,)
- 型番
- Quantera II
- 仕様・特徴
- ・型式:Quantera II
・試料サイズ:4インチφ
・X線源:単色化Al kα(ローランド直径 200 mm)
・光電子分光器:静電半球型(軌道直径279.4 mm)
・検出器:マルチチャネル検出器 (32 ch)
・スペクトル分析:0～1467 eV
・イメージング:最小ビーム径7.5μm, 最大走査範囲1.4 mmx1.4 mmのSXIイメージング
・最小スペクトル分析面積:7.5μmφ (20% - 80% knife edge法)
・エネルギ分解能:0.48 eV（Ag 3d5/2光電子ピーク半値幅）
・帯電中和:10 eV以下電子と5～10 eV Arイオン同時照射
・光電子取り出し角度:45°(標準)
- 設備状況
- 稼働中