単波長エリプソメータ
最終更新日：2025年4月3日
| 設備ID | AT-096 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > エリプソメーター |
| 設備名称 | 単波長エリプソメータ (Single Wavelength Ellipsometer) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | 溝尻光学工業所 (Mizojiri-opt) |
| 型番 | DHA-XA2M |
| キーワード | 単波長エリプソメータ He/Neレーザー 膜厚 屈折率 光学定数 |
| 仕様・特徴 | ・型式:DHA-XA2M ・試料サイズ:4インチφ ・光源:He/Neレーザー(632.8nm)、LD830(830nm) ・測定方式:回転検光子法 ・入射角度:55°~75° |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=AT-096 |
