電気特性評価
最終更新日：2025年7月14日
| 設備ID | TH-821 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > 電気特性評価 |
| 設備名称 | 電気特性評価 (Semiconductor Electrical Characterization System) |
| 設置機関 | 豊橋技術科学大学 |
| 設置場所 | IRES2 |
| メーカー名 | 東京精密, キーサイト, ハイソル, ケースレー (Accretech, Keysight, Hisol, Keithley) |
| 型番 | A-PM-50A, 4155C, 4284A, KS8-4200-SYS, HMP-400A, 4200A, 2363B, 2602B |
| キーワード | 半導体、集積回路のデバイス電気特性評価 |
| 仕様・特徴 | 【A-PM-50A + 4155C】 セミオートウェハプローバシステム。専用のプローブカードが必要。半導体パラメータアナライザ アジレント4155C他、任意の直流電源、オシロスコープ等と組み合わせて利用可 対応基板： Siウェハ専用 φ4インチ以下 【KS8-4200 + 4200A】 マニュアルプローバシステム。半導体パラメータアナライザ ケースレー4200A、インピーダンスメータ アジレント4284A他、任意の電源等接続して利用可能。 プローブ本数：4本 対応基板：φ6インチ以下 ステージ温度：-60～190℃ 【HMP-400A + 2363B, 2602B, 4284A】 マニュアルプローバシステム。ソースメジャメントユニット2台(ケースレー 2363B,2602B)、インピーダンスメータ アジレント4284A他、任意の電源等接続して利用可能。 プローブ本数：4本 対応基板：φ4インチ以下 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=TH-821 |
