膜厚評価システム
最終更新日：2025年7月14日
| 設備ID | TH-801 |
|---|---|
| 分類 |
膜厚・粒度測定 > 膜厚測定 膜厚・粒度測定 > 段差計 膜厚・粒度測定 > エリプソメーター |
| 設備名称 | 膜厚評価システム (Thin Film Measurement System) |
| 設置機関 | 豊橋技術科学大学 |
| 設置場所 | IRES2 |
| メーカー名 | 大日本スクリーン, 小坂研究所, ルドルフ, ナプソン (Screen, Kosaka Lab, Rudolph, Napson) |
| 型番 | VM-1230, ET4000A, AutoEL-III, RT-6-8 |
| キーワード | 膜厚評価 |
| 仕様・特徴 | 【VM-1230】 干渉膜厚計。SiO2,SiN,poly-Siの膜厚測定。多層膜も可 対応基板：φ2インチ～φ6インチ 【ET4000A】 段差計 【AutoELIII】 単色(632.8nm)エリプソメータ 【RT-6-8】 4探針抵抗測定装置 対応基板：φ6インチ以下 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=TH-801 |
