光学観察装置
最終更新日：2025年7月14日
| 設備ID | TH-721 |
|---|---|
| 分類 |
光学顕微鏡 > 共焦点レーザー走査型顕微鏡 光学顕微鏡 > その他 |
| 設備名称 | 光学観察装置 (Optical Inspection System ) |
| 設置機関 | 豊橋技術科学大学 |
| 設置場所 | IRES2 |
| メーカー名 | オリンパス, ニコン, キーエンス, ニデック (Olympus, Nikon, Keyence, Nidek) |
| 型番 | OLS3100, LV150, VHX-8000, FT-17 |
| キーワード | 集積回路等のパターン観察 |
| 仕様・特徴 | 【OLS3100】 共焦点レーザー顕微鏡 【LV-150】 光学顕微鏡。 対物：x5, x10, x20, x50, x100 【VHX-8000】 デジタル光学顕微鏡 対物：x20～x6000 【FT-17】 フラットネステスタ 対応基板：φ2インチ、φ4インチ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=TH-721 |
