電子顕微鏡
最終更新日：2025年7月14日
| 設備ID | TH-701 |
|---|---|
| 分類 |
走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 微小加工装置 > 集束イオンビーム（FIB） |
| 設備名称 | 電子顕微鏡 (Electron Microscopy System) |
| 設置機関 | 豊橋技術科学大学 |
| 設置場所 | IRES2 |
| メーカー名 | 日本電子, アルバック, 日立ハイテク, SIIナノテクノロジー (JEOL, ULVAC, Hitachi Hightec, SII Nanotechnology) |
| 型番 | JSM-7100F, VPS-050, NB5000, SMI3200TS |
| キーワード | 集積回路、MEMS/センサデバイスのマイクロパターン観察と寸法計測 |
| 仕様・特徴 | 【JSM-7100F】 測長機能付きの走査型電子顕微鏡。 最大倍率：1,000,000倍 加速電圧：0.5-30kV 分解能：1.2nm (30kV) 対応試料サイズ：φ4インチ以下 【NB5000】 イオンビームによる堆積・エッチング加工およびSEMによる観察を行う イオン源：Ga(加工)、C、W(堆積) 試料サイズ：φ27mm以下 【SMI3200TS】 イオンビームによる堆積・エッチングにより加工および観察を同時に行える イオン源：Ga、C 試料サイズ：φ8インチ以下 【VPS-050】 SEM観察時のチャージアップ防止のための金属(Au)膜コーティングを行う 試料サイズ：φ2インチ以下 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=TH-701 |
