プラズマCVD装置
最終更新日：2025年7月14日
| 設備ID | TH-222 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > 化学蒸着(CVD)装置 |
| 設備名称 | プラズマCVD装置 (Plasma Enhanced CVD system) |
| 設置機関 | 豊橋技術科学大学 |
| 設置場所 | IRES2 |
| メーカー名 | サムコ, SPPテクノロジーズ (Samco, SPP Technologies) |
| 型番 | PD-220M, PD-220Ns, PD-220NLM, APX-Cetus |
| キーワード | 集積回路、MEMS/センサデバイスへのポリSi、SiOx、SiN膜堆積 |
| 仕様・特徴 | 原料ガスをプラズマ化することでSi酸化膜やSi窒化膜等の化学気相成長を行う。 ＜使用ガス＞ SiOx：SiH4, N2O または TEOS SiN：SiH4, NH3 SiON：SiH4, N2O, NH3 【PD-220M, PDｰ220Ns】 対応膜：SiOx, SiN, SiON 対応試料：φ8インチ以下 【PD-220NLM】 ボロンドープ、リンドープ SiOx膜(BSG, PSG, BPSG）用 対応試料：φ8インチ以下、集積回路プロセス用 【APX-Cetus】 対応膜：アモルファスSi, SiOx, SiN, SiON 対応試料：φ8インチ以下 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=TH-222 |
