触針式プロファイラ（段差計）（Alpha-Step D-500）
最終更新日：2025年6月2日
| 設備ID | TT-036 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > 段差計 |
| 設備名称 | 触針式プロファイラ（段差計）（Alpha-Step D-500） (Stylus Profilometer （Alpha-Step D-500）) |
| 設置機関 | 豊田工業大学 |
| 設置場所 | クリーンルーム |
| メーカー名 | KLA (KLA) |
| 型番 | Alpha-Step D-500 |
| キーワード | 段差計。サンプル外部形状をnmの段差から測定可能。 |
| 仕様・特徴 | 触針段差計、材料は不問 φ4インチ程度（XY移動範囲は20x80mm） レーザー利用の光てこ方式で、形状変化への追従性向上 垂直分解能0.038nm、段差測定再現性1σ＝0.5nm 最小0.03mgからの低針圧設定 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=TT-036 |
