フィールドエミッション電子プローブマイクロアナライザー
最終更新日：2025年5月1日
| 設備ID | NM-234 |
|---|---|
| 分類 | 表面分析（深さ方向元素分析を含む） > 電子線プローブマイクロアナライザー(EPMA) |
| 設備名称 | フィールドエミッション電子プローブマイクロアナライザー (Field Emission Electron Probe Micro Analyzer (FE-EPMA)) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | 千現地区 精密計測実験棟 111号室 |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JXA-iHP200F |
| キーワード | １．FE-EPMA ２．定性分析 ３．定量分析 ４．線分析 ５．マッピング ６．O2ジェット ７．エバクトロン |
| 仕様・特徴 | 1. 電子銃：電界放出形 2. 加速電圧：1 ～ 30 kV 3. 照射電：10 pA ～ 3 μA 4. 測定可能元素：B ～ U 5. 最大試料サイズ：100 x 100 x 50 mm 6. オートローダー機能 7. アンチコンタミシステム搭載 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=NM-234 |
