レーザ元素分析デジタルマイクロスコープ
最終更新日：2025年5月1日
| 設備ID | NM-233 |
|---|---|
| 分類 | 表面分析（深さ方向元素分析を含む） > その他 |
| 設備名称 | レーザ元素分析デジタルマイクロスコープ (Laser-Based Elemental Analyzer) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | 千現地区 ファインプロセス実験棟 313号室 |
| メーカー名 | 株式会社キーエンス (KEYENCE CORPORATION) |
| 型番 | EA300 |
| キーワード | 1. 定性分析（含む深さ方向分析） 2. 定量分析（含む深さ方向分析） 3. 試料観察 |
| 仕様・特徴 | ・レーザ：Nd:YAGレーザ(クラス1) ・レーザ波長：355 nm ・レーザスポット径：10 µm ・観察倍率：300～1000倍 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=NM-233 |
