触針式形状測定装置
最終更新日：2025年5月1日
| 設備ID | KT-335 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > 段差計 |
| 設備名称 | 触針式形状測定装置 (Stylus Profilometer) |
| 設置機関 | 京都大学 |
| 設置場所 | 京都大学 吉田キャンパス |
| メーカー名 | ブルカー(株) (Bruker Corporation) |
| 型番 | Dektak Pro-S |
| キーワード | 段差計/ Step meter 膜厚測定/ Film thickness measurement |
| 仕様・特徴 | BRUKER社製_Dektak Pro ・高さ分解能：0.1nm＠6.5μmレンジ ・高さ再現性：<0.4nm（1σ） ・高さ測定範囲：<1mm ・触圧範囲：1～15mg ・測定距離：<55mm ・サンプルステージ：Φ150mm対応可（XYステージ：手動100mm移動）／Θ360度（手動） ・スタイラス（先端曲率）：12.5μm、2μm ・薄膜応力測定機能 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=KT-335 |
