電界放出形走査電子顕微鏡（JSM7400F）
最終更新日：2025年5月1日
| 設備ID | AT-121 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 設備名称 | 電界放出形走査電子顕微鏡（JSM7400F） (Field Emission SEM（JSM7400F）) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JSM7400F |
| キーワード | |
| 仕様・特徴 | 分解能：1.0nm 加速電圧：0.1～30kV 倍率：X25～X650k 試料寸法：max 150mmφ 移動範囲：X方向70mm、Y方向50mm |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=AT-121 |