オージェ分光分析装置
最終更新日：2025年4月3日
| 設備ID | UT-864 |
|---|---|
| 分類 |
状態分析（各種分光法（元素分析・振動モード・電子状態）を含む） > オージェ電子分光 表面分析（深さ方向元素分析を含む） > その他 |
| 設備名称 | オージェ分光分析装置 (Auger Electron Spectroscopy) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 工学部3号館（本郷キャンパス） |
| メーカー名 | 日本電子株式会社 (JEOL Ltd.) |
| 型番 | JAMP-9510F |
| キーワード | オージェ電子分光 |
| 仕様・特徴 | ナノからマイクロ領域の化学結合状態分析をハイスループットで実現する静電半球型アナライザー、安定した大電流を供給するフィールドエミッション電子銃を備えたハイスペックなオージェ電子分光装置です。 絶縁物分析を可能とした高精度ユーセントリック試料ステージとフローティング型イオン銃を備えることにより、金属試料から絶縁物試料まで、組成情報から化学情報まで測定できる汎用性を有しています。 ・二次電子分解能：3nm(25kV, 10pA) ・オージェ分析時の最小プローブ径：8nm(25kV, 1nA) ・加速電圧：0.5-30kV ・プローブ電流：10E-11 から2x10E-7A ・倍率：25-500,000倍 ・エネルギー分解能：0.05-0.6% (宣伝半球アナライザー) ・感度：840,000cps（7チャンネル検出器）、Cu-LMM、10kV、10nA |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=UT-864 |