スプレーコーター
最終更新日：2025年4月3日
| 設備ID | UT-513 |
|---|---|
| 分類 |
成膜装置 > コーター（スピン、ディップ、スプレイなど） リソグラフィ > レジスト処理装置 |
| 設備名称 | スプレーコーター (Spray Coater) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
| メーカー名 | 三明電子産技株式会社 (Sanmei Electronics Co. Ltd.) |
| 型番 | DC111 |
| キーワード | スプレーコーター、レジスト塗布、成膜 |
| 仕様・特徴 | 本装置はMEMSデバイス、及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコーターです。 １．MEMSデバイスに対応 ２．凸凹面への膜厚均一塗布 ３．ビア、トレンチ埋め込み塗布 ４．ヒータ内蔵試料台を装備。最大100℃までの試料温度制御が可能です。 ５．サーボモータは、低振動、低発熱、高精度の弊社「Si-servo」を使用しています。 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=UT-513 |