多機能型光電子分光分析装置(XPS)
最終更新日：2025年4月3日
| 設備ID | AT-118 |
|---|---|
| 分類 | 状態分析（各種分光法（元素分析・振動モード・電子状態）を含む） > X線光電子分光 （XPS（硬X線を含む）） |
| 設備名称 | 多機能型光電子分光分析装置(XPS) (Multifunctional X-ray Photoelectron Spectroscopy Analysis System (XPS)) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | アルバック・ファイ (ULVAC PHI) |
| 型番 | Model 900 |
| キーワード | |
| 仕様・特徴 | 搭載分析機能：XPS, UPS, 走査型オージェ電子分光分析, 低エネルギー逆光電子分光, 反射電子エネルギー損失分光他 最大試料サイズ：80 mm×80 mm, 高さ12 mm 試料加熱冷却範囲：-100 ～ 500℃ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=AT-118 |
