多機能型薄膜Ｘ線回折装置(XRD)
最終更新日：2025年4月3日
| 設備ID | AT-117 |
|---|---|
| 分類 | 回折・散乱 > X線回折 |
| 設備名称 | 多機能型薄膜Ｘ線回折装置(XRD) (Multifunctiolal X-ray Diffractometer (XRD)) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | パナリティカル (PANalytical) |
| 型番 | X'Pert3 MRD |
| キーワード | |
| 仕様・特徴 | 試料サイズ：最大100mmφ 試料ステージ：垂直型 試料形態：薄膜 測定：２θ/θ、2θ/ω、in-plane2θχ/φ、逆格子空間マッピング測定、ロッキングカーブ測定、極点測定、面内マッピング測定、反射率測定 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=AT-117 |
