EB用自動現像装置（カナメックス）
最終更新日：2025年4月3日
| 設備ID | AT-116 |
|---|---|
| 分類 | リソグラフィ > レジスト処理装置 |
| 設備名称 | EB用自動現像装置（カナメックス） (Automatic Development System for EB Litography) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | カナメックス (KANAMEX) |
| 型番 | |
| キーワード | |
| 仕様・特徴 | 試料サイズ：2～6インチ、小片10mm□、20ｍｍ□ レシピ数：100 現像：2系統（酢酸nアミル、TMAH2.38%） リンス：２系統（IPA、純水） 現像液温度制御：10～30℃ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=AT-116 |