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クロスセクションポリッシャ

最終更新日:2025年4月1日
設備ID KU-021
分類 微小加工装置 > イオンミリング(TEM試料作製)
設備名称 クロスセクションポリッシャ (CROSS SECTION POLISHER)
設置機関 九州大学
設置場所 九州大学超顕微解析研究センターCE21棟
メーカー名 日本電子 (JEOL)
型番 IB-19530CP
キーワード 試料調製、断面加工、鏡面仕上げ加工
仕様・特徴 ブロードArイオンビームによる断面加工・鏡面仕上げ加工(ハイスループット仕様)
低ダメージで大面積加工が可能、SEM観察やEBSD解析に最適
設備状況 稼働中
本設備の利用事例 https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=KU-021
    クロスセクションポリッシャ
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