クロスセクションポリッシャ
最終更新日:2025年4月1日
設備ID | KU-021 |
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分類 | 微小加工装置 > イオンミリング(TEM試料作製) |
設備名称 | クロスセクションポリッシャ (CROSS SECTION POLISHER) |
設置機関 | 九州大学 |
設置場所 | 九州大学超顕微解析研究センターCE21棟 |
メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
型番 | IB-19530CP |
キーワード | 試料調製、断面加工、鏡面仕上げ加工 |
仕様・特徴 | ブロードArイオンビームによる断面加工・鏡面仕上げ加工(ハイスループット仕様) 低ダメージで大面積加工が可能、SEM観察やEBSD解析に最適 |
設備状況 | 稼働中 |
本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=KU-021 |