微細構造解析3Dシステム JIB-PS500i FIB-SEM
最終更新日：2025年4月1日
| 設備ID | NU-107 |
|---|---|
| 分類 |
微小加工装置 > 集束イオンビーム（FIB） 走査型顕微鏡 > |
| 設備名称 | 微細構造解析3Dシステム JIB-PS500i FIB-SEM (JIB-PS500i FIB-SEM) |
| 設置機関 | 名古屋大学 |
| 設置場所 | 超高圧電子顕微鏡施設 |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JIB-PS500i FIB-SEM |
| キーワード | FIB (Focus Ion Beam) SEM(Scanning Electron Microscopy) 試料薄片化 連続試料切削 3D像 EBSD |
| 仕様・特徴 | FIB (Focus Ion Beam)機能と電子顕微鏡のSTEM機能を併せ持つ装置 電子顕微鏡観察用に各種材料を薄片化加工する。 FIB装置で試料を切削しながらSEM像を撮影し、試料内部を履帯観察できる |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=NU-107 |
