複合ビーム加工観察装置群
最終更新日：2025年4月1日
| 設備ID | NI-021 |
|---|---|
| 分類 |
微小加工装置 > 集束イオンビーム（FIB） 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 設備名称 | 複合ビーム加工観察装置群 (Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscopes) |
| 設置機関 | 名古屋工業大学 |
| 設置場所 | 名古屋工業大学 22号館259室 |
| メーカー名 | 日本電子、マイクロサポート (JEOL, Micro Support Co.,Ltd) |
| 型番 | JIB-4700F, AxisPro FC |
| キーワード | 対象試料：無機物、有機物 分析用途： ・3D-SEM ・TEM試料作製 |
| 仕様・特徴 | 1. FIB：加速電圧1～30kV、ビーム電流1pA ～90nA、倍率×50～×1,000,000 2.SEM：加速電圧1～30kV、倍率×10 ～ 1,000,000 3.最大試料サイズ：Φ30mm×高さ15mm 4.電動マイクロマニピュレーターシステム付設（AxisPro FC: TEM観察薄片のピックアップ用） |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=NI-021 |
