イオンビームミリング複合装置 [16IBE-NIMS_SS]
最終更新日：2025年4月8日
| 設備ID | NM-669 |
|---|---|
| 分類 | 膜加工・エッチング > プラズマエッチング |
| 設備名称 | イオンビームミリング複合装置 [16IBE-NIMS_SS] (Ion Beam Milling System) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS千現地区 材料信頼性実験棟102室 |
| メーカー名 | 伯東 (Hakuto) |
| 型番 | 16IBE-NIMS_SS |
| キーワード | イオンミリング、イオンビーム / Ion milling, Ion beam |
| 仕様・特徴 | ・用途：磁性材料等のミリング加工 ・プラズマ励起方式：直流放電型（カウフマン型） ・イオンビーム電圧：100-1000V ・イオンビーム電流：800mA ・プロセスガス：Ar ・グリッド径：φ16cm ・最大試料サイズ：φ6inch ・その他：RFスパッタ機構装備、SIMS検出器装備 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=NM-669 |
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