テクニカルノート

データリファレンスガイド PXRDデータ編(リガク)

データ編

登録ファイル

 

 

機種

登録ファイル

ARIM
登録ファイル

SmartLab / MiniFlexシリーズ

.ras
(.rasxはARIMでは非対応です)

RINT-Ultimaシリーズ

.raw
(.ascおよび.txt形式はARIMでは非対応です)

 

出力フォーマット
リガク社のXRD出力フォーマットには、.ras, .rasx, .raw, .asc, .txtなどがありますが、ARIM事業においては、使用する機種に応じて、上記のフォーマットのファイルを登録するものとします。

また、RINT-Ultima シリーズでは.raw ファイルをリガク社のコンバーター(非公開)で.ras へ変換します。その変換された.ras に含まれるファイルからメタデータ等を抽出しています。

 

手入力データ

“ 装置編” の【推奨記録条件】をデータ構造化システム(RDE)のデータ登録時に画面で記録できるようにしています。

手入力

パラメータ

日本語語彙

英語語彙

入力条件

単位

sample_width 試料幅(W) Sample width 試料の幅をmm単位で入力

mm

sample_length 試料長さ(L) Sample length 試料の長さをmm単位で入力

mm

sample_thickness 試料厚(T) Sample thickness 試料の厚みをmm単位で入力 mm
linear_absorption_
coefficient
線吸収係数 Linear absorption
coefficient

組成から計算される線吸収係数ではなく、その試料の線吸収係数。

不明な場合は、組成から計算される線吸収
係数に0.3を乗じる。

1/cm
goniometer_radius ゴニオ半径 Goniometer radius (一般値)
MiniFlex:150 mm
SmartLab, Ultima, RINTシリーズ:
300mm
mm
focus_width 焦点幅 Focus width   mm
focus length 焦点長さ Focus length   mm
aperture_angle_of_
divergence_slit_DS
入射スリットDSの開口角 Aperture angle of
Divergence slit DS
Ultima, RINTシリーズでは記載する deg
aperture_angle_of_
scattering_slit_SS
散乱スリットSSの開口角 Aperture angle of
Scattering slit SS
Ultima, RINTシリーズでは記載する deg
aperture_angle_of_
receiving_slit_RS
受光スリットRSの幅 Aperture angle of
Receiving slit RS
Ultima, RINTシリーズでは記載する mm
length_of_receiving_
slit_RS
受光スリットRSの長さ Length of Receiving
slit RS
Ultima, RINTシリーズでは記載する mm
soller_slit_angle_for_
incident_side
入射ソーラースリットの角度 Soller slit angle for
Incident side
Ultima, RINTシリーズでは記載する deg
soller_slit_angle_for_
receiving_side
受光ソーラースリットの角度 Soller slit angle for
Receiving side
Ultima, RINTシリーズでは記載する deg

 

選定メタデータのjsonスキーマ

ARIMのメタデータ取得にかかる選定メタデータのmetadata-def.jsonは、以下のように定義されています。

出力計測パラメータ

日本語語彙

英語語彙

単位

*MEASUREMENT_DATE

測定日

Measurement Date

 

*FILE_COMMENT

コメント

Comment

 

*FILE_MEMO

メモ

Memo

 

*FILE_SAMPLE

試料名

Sample Name

 

*HW_ATTACHMENT_NAME

アタッチメント

Attachment Name

 

*HW_COUNTER_PIXEL_SIZE

検出器のピクセルサイズ

Detector Pixel Size

mm

*HW_COUNTER_SELECT_NAME

検出器名称

Selected Detector Name

 

*HW_XG_TARGET_NAME

管球ターゲット

X-ray Target Material

 

*HW_XG_WAVE_LENGTH_ALPHA1

Kα1線波長

K_alpha_1 Wavelength

Angstrom

*HW_XG_WAVE_LENGTH_ALPHA2

Kα2線波長

K_alpha_2 Wavelength

Angstrom

*HW_XG_WAVE_LENGTH_BETA

Kβ線波長

K_beta Wavelength

Angstrom

*MEAS_COND_OPT_ATTR

光学系属性

Optics Attribute

 

*MEAS_COND_XG_CURRENT

X線管電流

X-ray Tube Current

mA

*MEAS_COND_XG_VOLTAGE

X線管電圧

X-ray Tube Voltage

kV

*MEAS_COND_XG_WAVE_TYPE

波長種別

Wavelength Type

 

*MEAS_DATA_COUNT

データ点数

Number of Data Points

 

*MEAS_SCAN_AXIS_X

走査軸

Scan Axis

 

*MEAS_SCAN_MODE

走査モード

Scan Mode

 

*MEAS_SCAN_SPEED

走査速度

Scan Speed

deg/min

*MEAS_SCAN_START

走査開始位置

Scan Starting Position

deg

*MEAS_SCAN_START_TIME

走査開始日時

Scan Starting Date Time

 

*MEAS_SCAN_END_TIME

走査終了日時

Scan Ending Date Time

 

*MEAS_SCAN_STEP

走査ステップサイズ

Scan Step Size

deg

*MEAS_SCAN_STOP

走査終了位置

Scan Ending Position

deg

*MEAS_SCAN_UNIT_X

走査軸単位

Scan Axis Unit

 

*MEAS_SCAN_UNIT_Y

X線強度単位

Intensity Unit

 

 

【温度可変アタッチメント装着】(例:NM-204)

出力計測パラメータ

日本語語彙

英語語彙

単位

*ATMOSPHERE_TEMP_START

開始温度

Starting Temperature

°C

*ATMOSPHERE_TEMP_END

終了温度

Ending Temperature

°C

*ATMOSPHERE_TEMP_UNIT

温度単位

Temperature Unit

°C

 

【スリット情報】SmartLabシリーズ

出力計測パラメータ

日本語語彙

英語語彙

単位

*MEAS_COND_AXIS_POSITION-XX

入射ソーラースリット

Incident Soller Slit

 

*MEAS_COND_AXIS_POSITION-XX

入射スリット

Incident Silt

 

*MEAS_COND_AXIS_POSITION-XX

長手制限スリット

Length Limiting Silt

 

*MEAS_COND_AXIS_POSITION-XX

受光ソーラースリット

Receiving Soller Slit

 

*MEAS_COND_AXIS_POSITION-XX

受光スリット1

Receiving Slit 1

 

*MEAS_COND_AXIS_POSITION-XX

受光スリット2

Receiving Slit 2

 

*MEAS_COND_AXIS_POSITION-XX

受光素子

Receiving Optics

 

(※)機種によりスリットのメタデータを定義する「MEAS_COND_AXIS_POSITION」の番号が異なるため、ここでは「*MEAS_COND_AXIS_POSITION-XX」と表記しています。

 

【スリット情報】MiniFlexシリーズ

出力計測パラメータ

日本語語彙

英語語彙

単位

*MEAS_COND_AXIS_POSITION-XX

入射ソーラースリット

Incident Soller Slit

 

*MEAS_COND_AXIS_POSITION-XX

入射スリット

Incident Silt

 

*MEAS_COND_AXIS_POSITION-XX

長手制限スリット

Length Limiting Silt

 

*MEAS_COND_AXIS_POSITION-XX

受光ソーラースリット

Receiving Soller Slit

 

*MEAS_COND_AXIS_POSITION-XX

受光スリット1

Receiving Slit 1

 

(※)機種によりスリットのメタデータを定義する「MEAS_COND_AXIS_POSITION」の番号が異なるため、ここでは「*MEAS_COND_AXIS_POSITION-XX」と表記しています。

 

謝辞

リガク社には、推奨実験条件ならびに試料ホルダーへのセッティング方法について、貴重なご助言をいただきました。厚くお礼申し上げます。