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花粉アレルゲン検出用デバイス加工：OS-114RFスパッタ成膜装置（金属成膜用）- 課題名：
- 高感度ウイルスナノセンサの開発
- 課題番号：
- JPMXP1224OS1027
- ファイル数：
- 410
- 実施機関：
- 大阪大学
- 装置・プロセス：
-
OS-114：RFスパッタ成膜装置（金属成膜用）
- 登録日：
- 2025.10.17
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- フォトレジスト（TSMR-iN080LP_50cp）のHMDS処理_PEB処理の違い比較
- 課題名：
- 各種フォトレジストの特性評価（2025年度実習）
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5012
- ファイル数：
- 26
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
-
TU-052：アクテス スピンコータ#1
TU-056：両面アライナ
TU-060：現像ドラフト
TU-306：Tencor 段差計
- 登録日：
- 2025.11.12
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- スパッタで成膜した薄膜の膜厚及び内部応力の評価_sputtering
- 課題名：
- 芝浦スパッタ!-Miller冷却型の成膜評価
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5007
- ファイル数：
- 126
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
-
TU-161：自動搬送 芝浦スパッタ装置（冷却型）
TU-326：Zygo Nexview
- 登録日：
- 2025.10.10
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- 積層配線_Au250_Ni100_Ti10_processflow_
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuNiTi配線形成
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5021
- ファイル数：
- 4
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
- 登録日：
- 2025.12.24
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- Fe-B-P-Cuナノ結晶軟磁性材料のレーザーアトムプローブ分析における質量分解能の試料形状依存性
- 課題名：
- Atom Probe Tomography (APT) Reference Datasets provided by NIMS
- 課題番号：
- JPMXP1225NM2502
- ファイル数：
- 15
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 装置・プロセス：
-
NMZ-005: 局所電極型アトムプローブ
- 登録日：
- 2026.2.2
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- 積層配線_Au250_Ni200_Ti10_processflow_
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuNiTi配線形成
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5021
- ファイル数：
- 4
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
- 登録日：
- 2025.12.24
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- 積層配線_Au250_Ni100_Ti10_sputtering_
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuNiTi配線形成
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5021
- ファイル数：
- 4
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
-
TU-159：芝浦スパッタ装置（冷却型）
TU-320：4探針測定装置
- 登録日：
- 2025.12.24
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- RIE-200NLにおけるレジスト材料のエッチングレート比較
- 課題名：
- 各種レジスト材料のドライエッチング耐性
- 課題番号：
- JPMXP1225NM2042
- ファイル数：
- 5
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 装置・プロセス：
-
NM-614：CCP-RIE装置 [RIE-200NL]
- 登録日：
- 2026.1.15
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- Au/Pt/Ti薄膜のシート抵抗測定
- 課題名：
- スパッタ成膜した薄膜のシート抵抗測定
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5010
- ファイル数：
- 49
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
-
TU-159：芝浦スパッタ装置（冷却型）
TU-320：4探針測定装置
- 登録日：
- 2025.12.24
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- 積層配線_Au500_Ni100_Ti10_sputtering_
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuNiTi配線形成
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5021
- ファイル数：
- 4
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
-
TU-159：芝浦スパッタ装置（冷却型）
TU-320：4探針測定装置
- 登録日：
- 2025.12.24
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- 積層配線_Au500_Ni100_Ti10_processflow_
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuNiTi配線形成
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5021
- ファイル数：
- 4
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
- 登録日：
- 2025.12.24
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- 積層配線_Au250_Ni100_Ti10_lithography_
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuNiTi配線形成
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5021
- ファイル数：
- 6
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
- 登録日：
- 2025.12.24
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- 積層配線_Au500_Ni100_Ti10_cleaning_liftoff_
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuNiTi配線形成
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5021
- ファイル数：
- 11
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
-
TU-001：エッチングチャンバー
TU-002：有機ドラフトチャンバー
- 登録日：
- 2025.12.24
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- コルソン合金のレーザーアトムプローブ分析における質量分解能の試料形状依存性
- 課題名：
- Atom Probe Tomography (APT) Reference Datasets provided by NIMS
- 課題番号：
- JPMXP1225NM2502
- ファイル数：
- 15
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 装置・プロセス：
-
NMZ-005: 局所電極型アトムプローブ
- 登録日：
- 2026.2.2
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- 積層配線_Au250_Ni200_Ti10_sputtering_
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuNiTi配線形成
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5021
- ファイル数：
- 4
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
-
TU-159：芝浦スパッタ装置（冷却型）
TU-320：4探針測定装置
- 登録日：
- 2025.12.24
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- 深紫外レーザーを用いたアトムプローブによる質量分解能の向上（ステンレス鋼）
- 課題名：
- Atom Probe Tomography (APT) Reference Datasets provided by NIMS
- 課題番号：
- JPMXP1225NM2502
- ファイル数：
- 15
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 装置・プロセス：
-
NMZ-NF0273: 深紫外レーザーアトムプローブ
- 登録日：
- 2026.2.2
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- 積層配線_Au250_Ni100_Ti10_cleaning_liftoff_
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuNiTi配線形成
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5021
- ファイル数：
- 11
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
-
TU-001：エッチングチャンバー
TU-002：有機ドラフトチャンバー
- 登録日：
- 2025.12.24
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- 積層配線_Au500_Ni100_Ti10_lithography_
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuNiTi配線形成
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5021
- ファイル数：
- 6
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
- 登録日：
- 2025.12.24
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- 積層配線_Au250_Ni200_Ti10_lithography_
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuNiTi配線形成
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5021
- ファイル数：
- 6
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
- 登録日：
- 2025.12.24
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- 積層配線_Au500_Ni200_Ti10_cleaning_liftoff_
- 課題名：
- リフトオフプロセスによるAuNiTi配線形成
- 課題番号：
- JPMXP1225TU5021
- ファイル数：
- 11
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
-
TU-001：エッチングチャンバー
TU-002：有機ドラフトチャンバー
- 登録日：
- 2025.12.24
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