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JAMP-9500FによるAESの電子線照射損傷測定-冷却法データセット (890データ)- 課題名：
- オージェ電子分光装置JAMP-9500Fによる参照オージェスペクトル
- 課題番号：
- JPMXP1224NM2201
- ファイル数：
- 8010
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 装置・プロセス：
-
NM-208：走査型オージェ電子分光分析装置
- 登録日：
- 2024.12.31
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- 各種フォトレジストL / S (ライン＆スペース）のMLA150露光条件最適化
- 課題名：
- レジストの形状観察
- 課題番号：
- JPMXP1222TU0157
- ファイル数：
- 122
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
-
TU-052：アクテス スピンコータ#1
TU-058：マスクレスアライナ
TU-054：ホットプレート
TU-060：現像ドラフト
TU-316：JEOL FE-SEM
- 登録日：
- 2024.1.31
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- 平面櫛歯型静電アクチュエータ（５０V駆動で１０μｍ変位）
- 課題名：
- 静電アクチュエータの開発
- 課題番号：
- JPMXP1223TT0015
- ファイル数：
- 25
- 実施機関：
- 豊田工業大学
- 装置・プロセス：
-
TT-015：デジタルマイクロスコープ群
関連データカタログ
・平面櫛歯型静電アクチュエータ（５０V駆動で１０μｍ変位）製作プロセスフロー
・平面櫛歯型静電アクチュエータ（５０V駆動で１０μｍ変位）パターン転写
・平面櫛歯型静電アクチュエータ製作プロセス（Si深掘りエッチング）
・平面櫛歯型静電アクチュエータ製作における犠牲層エッチング前処理
・平面櫛歯型静電アクチュエータ（５０V駆動で１０μｍ変位）の浮遊電極によるプルイン現象
・平面櫛歯型静電アクチュエータ（５０V駆動で１０μｍ変位）の周辺電位安定化と動作特性
- 登録日：
- 2024.10.28
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- *******非開示*******
- 課題名：
- *******非開示*******
- 課題番号：
- JPMXP12********
- ファイル数：
- 6
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
-
TU-159：芝浦スパッタ装置（冷却型）
TU-316：JEOL FE-SEM
- 登録日：
- 2025.9.25
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- ALD成膜テストデータの取得 (NPF ALDデータベースシステムとの連携)[FY2022_ARIM Data FS]_HK-616:PDL_SUNALE-R
- 課題名：
- ALD成膜テストデータの取得(NPF ALDデータベースシステムとの連携)
- 課題番号：
- JPMXP1222HK9004
- ファイル数：
- 20
- 実施機関：
- 北海道大学
- 装置・プロセス：
-
HK-616：原子層堆積装置
- 登録日：
- 2023.10.27
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- 成膜装置による膜特性の差異確認(2022年度:PD-220)
- 課題名：
- 成膜装置による膜特性の差異確認
- 課題番号：
- JPMXP1222WS0004
- ファイル数：
- 32
- 実施機関：
- 早稲田大学
- 装置・プロセス：
-
WS-030：プラズマCVD装置
- 登録日：
- 2024.11.11
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- NR-104_日本電子製ESR（JES-FA100N）を利用した装置評価用試料であるTEMPOLを測定した例
- 課題名：
- マテリアル研究プラットフォームセンターにおける機器・分析事例データ
- 課題番号：
- JPMXP1225NR9001
- ファイル数：
- 5
- 実施機関：
- 奈良先端科学技術大学院大学
- 装置・プロセス：
-
NR-104：電子スピン共鳴装置
- 登録日：
- 2025.7.2
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- 成膜装置による膜特性の差異確認(2022年度:EBX-6D)
- 課題名：
- 成膜装置による膜特性の差異確認
- 課題番号：
- JPMXP1222WS0004
- ファイル数：
- 32
- 実施機関：
- 早稲田大学
- 装置・プロセス：
-
WS-003：電子ビーム蒸着装置
- 登録日：
- 2024.11.11
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- MLA150におけるフォーカスの再現性とフォーカスシフトの検証
- 課題名：
- レジスト断面形状と露光フォーカス再現性の検証
- 課題番号：
- JPMXP1223TU0203
- ファイル数：
- 50
- 実施機関：
- 東北大学
- 装置・プロセス：
-
TU-052：アクテス スピンコータ#1
TU-058：マスクレスアライナ
TU-054：ホットプレート
TU-060：現像ドラフト
TU-316：JEOL FE-SEM
- 登録日：
- 2024.3.18
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- 成膜装置による膜特性の差異確認(2022年度:iHR320)
- 課題名：
- 成膜装置による膜特性の差異確認
- 課題番号：
- JPMXP1222WS0004
- ファイル数：
- 124
- 実施機関：
- 早稲田大学
- 装置・プロセス：
-
WS-026：高性能分光エリプソメータ
- 登録日：
- 2024.11.11
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- Si基板上のEBレジスト(AR-P6200)のコントラストカーブ
- 課題名：
- Si基板上EBレジスト(AR-P6200)のコントラストカーブの現像条件依存性
- 課題番号：
- JPMXP1225NM2002
- ファイル数：
- 178
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 装置・プロセス：
-
NM-635：電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100]
- 登録日：
- 2025.8.26
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- シリコンDRIE装置[ASE-SRE]によるシリコンエッチングデータ
- 課題名：
- エッチングプロセス技術開発
- 課題番号：
- JPMXP1223NM2009
- ファイル数：
- 439
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 装置・プロセス：
-
NM-616：シリコンDRIE装置 [ASE-SRE]
- 登録日：
- 2024.11.1
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- 平面櫛歯型静電アクチュエータ製作プロセス（Si深掘りエッチング）
- 課題名：
- 静電アクチュエータの開発
- 課題番号：
- JPMXP1223TT0015
- ファイル数：
- 22
- 実施機関：
- 豊田工業大学
- 装置・プロセス：
-
TT-011：Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス）
TT-015：デジタルマイクロスコープ群
関連データカタログ
・平面櫛歯型静電アクチュエータ（５０V駆動で１０μｍ変位）製作プロセスフロー
・平面櫛歯型静電アクチュエータ（５０V駆動で１０μｍ変位）パターン転写
・平面櫛歯型静電アクチュエータ製作における犠牲層エッチング前処理
・平面櫛歯型静電アクチュエータ（５０V駆動で１０μｍ変位）
・平面櫛歯型静電アクチュエータ（５０V駆動で１０μｍ変位）の浮遊電極によるプルイン現象
・平面櫛歯型静電アクチュエータ（５０V駆動で１０μｍ変位）の周辺電位安定化と動作特性
- 登録日：
- 2024.10.28
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- 腐植物質であるフルボ酸の分析
- 課題名：
- 腐植物質であるフルボ酸の分析
- 課題番号：
- JPMXP1224JI2006
- ファイル数：
- 5
- 実施機関：
- 北陸先端科学技術大学院大学
- 装置・プロセス：
-
JI-004：フーリエ変換イオンサイクロトロン共鳴質量分析計
- 登録日：
- 2024.12.20
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- 2022_バイオ高分子材料の開発_FTIR
- 課題名：
- バイオ高分子材料の開発
- 課題番号：
- JPMXP1222CT0204
- ファイル数：
- 95
- 実施機関：
- 公立千歳科学技術大学
- 装置・プロセス：
-
CT-002：フーリエ変換赤外分光光度計（FTIR)/赤外顕微鏡
- 登録日：
- 2025.7.10
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- 多形により機械的柔軟性が異なる錯体分子結晶の結晶表面状態の観察
- 課題名：
- 多形により機械的柔軟性が異なる錯体分子結晶の結晶表面状態の観察と機械特性の定量化
- 課題番号：
- JPMXP1222MS0007
- ファイル数：
- 611
- 実施機関：
- 自然科学研究機構
- 装置・プロセス：
-
MS-204：走査プローブ顕微鏡
- 登録日：
- 2025.11.6
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- 2022_バイオ高分子材料の開発_SEM
- 課題名：
- バイオ高分子材料の開発
- 課題番号：
- JPMXP1222CT0204
- ファイル数：
- 550
- 実施機関：
- 公立千歳科学技術大学
- 装置・プロセス：
-
CT-010：走査型電子顕微鏡（SEM）
- 登録日：
- 2025.7.10
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- NR-204 走査透過電子顕微鏡（日立ハイテク製 HD-2700）による金ナノ粒子の観察事例
- 課題名：
- マテリアル研究プラットフォームセンターにおける機器・分析事例データ
- 課題番号：
- JPMXP1225NR9001
- ファイル数：
- 12
- 実施機関：
- 奈良先端科学技術大学院大学
- 装置・プロセス：
-
NR-204：走査透過電子顕微鏡（STEM）
- 登録日：
- 2025.5.29
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- *******非開示*******
- 課題名：
- *******非開示*******
- 課題番号：
- JPMXP12********
- ファイル数：
- 57
- 実施機関：
- 九州大学
- 装置・プロセス：
-
KU-004：広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡
- 登録日：
- 2025.7.11
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- 強い水素結合相互作用をもつ新規分子性伝導体の合成とSQUID（MPMS-7）による物性研究
- 課題名：
- 強い水素結合相互作用をもつ新規分子性伝導体の合成と物性研究
- 課題番号：
- JPMXP1222MS1071
- ファイル数：
- 15
- 実施機関：
- 自然科学研究機構
- 装置・プロセス：
-
MS-218：SQUID（MPMS-7）
- 登録日：
- 2025.11.4
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