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スパッタ成膜したAl膜の結晶構造のXRD評価- 装置・プロセス：
-
NU-203：薄膜X線回折装置
NU-205：3元マグネトロンスパッタ装置
- ファイル数：
- 18
- ファイルサイズ：
- 4.97MB
- 課題番号：
- JPMXP1223NU5201
- 課題名：
- 名古屋大学加工FSデータ
- 実施機関：
- 名古屋大学
- 登録日：
- 2023.10.27
- ページビュー：
- 2276
- ダウンロード数：
- 91
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- カーボンの薄片上の金属微粒子の試料作製と観察/Sample Preparation and TEM Observation of Metal Nanoparticles on Carbon Thin Films
- 装置・プロセス：
-
NU-103：高分解能透過電子顕微鏡システム
- ファイル数：
- 79
- ファイルサイズ：
- 953.92MB
- 課題番号：
- JPMXP1225NU0036
- 課題名：
- カーボンの薄片上の金属微粒子の試料作製と観察
- 実施機関：
- 名古屋大学
- 登録日：
- 2025.8.26
- ページビュー：
- 934
- ダウンロード数：
- 36
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- オックスフォードインスツルメント社製ALD装置〔FlexAL〕を用いたALD成膜レシピとその膜特性（2022年度）
- 装置・プロセス：
-
AT-102：原子層堆積装置_3〔FlexAL〕
- ファイル数：
- 41
- ファイルサイズ：
- 6MB
- 課題番号：
- JPMXP1222AT0458
- 課題名：
- ALD成膜基礎データ(2022年)
- 実施機関：
- 産業技術総合研究所
- 登録日：
- 2025.10.21
- ページビュー：
- 622
- ダウンロード数：
- 98
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- 高純度オゾンを用いたALD Al2O3膜および SiO2膜の特性評価
- 装置・プロセス：
-
AT-099：サムコ原子層堆積装置_2[AD-100LP]
AT-023：電子ビーム真空蒸着装置
AT-052：デバイス容量評価装置
AT-063：分光エリプソメータ
- ファイル数：
- 226
- ファイルサイズ：
- 5.11MB
- 課題番号：
- JPMXP1222AT0049
- 課題名：
- 高純度オゾンを用いた低温成膜に関する研究
- 実施機関：
- 産業技術総合研究所
- 登録日：
- 2024.11.1
- ページビュー：
- 672
- ダウンロード数：
- 2
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- レジスト膜厚の温度・粘度依存性
- 装置・プロセス：
-
GA-003：スピンコータ－
GA-016：光干渉式膜厚測定装置
- ファイル数：
- 72
- ファイルサイズ：
- 11.87MB
- 課題番号：
- JPMXP1224GA2009
- 課題名：
- 膜厚制御に向けたSU-8フォトレジストの温度・粘度・膜厚の計測
- 実施機関：
- 香川大学
- 登録日：
- 2025.4.16
- ページビュー：
- 586
- ダウンロード数：
- 86
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- ICP-RIE_Spicaにおけるガス流量及び圧力とエッチング形状に関する実験 [プロセスデータ編]
- 装置・プロセス：
-
NM-662：低ダメージ精密エッチング装置 [Spica]
- ファイル数：
- 50
- ファイルサイズ：
- 436.6KB
- 課題番号：
- JPMXP1225NM2032
- 課題名：
- ICP-RIE_Spicaにおけるガス流量及び圧力とエッチング形状に関する実験
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 登録日：
- 2025.10.2
- ページビュー：
- 540
- ダウンロード数：
- 111
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- Arイオンビームミリング法によるピラー加工形状の基板傾斜角による違いと時間変化
- 装置・プロセス：
-
NM-669：イオンビームミリング複合装置 [16IBE-NIMS_SS]
- ファイル数：
- 79
- ファイルサイズ：
- 11.98MB
- 課題番号：
- JPMXP1225NM2010
- 課題名：
- SiO2のドライエッチング
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 登録日：
- 2026.2.24
- ページビュー：
- 525
- ダウンロード数：
- 66
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- 原子層堆積装置を用いたALD成膜実験(ALD)
- 装置・プロセス：
-
AT-031：原子層堆積装置_1[FlexAL]
- ファイル数：
- 273
- ファイルサイズ：
- 3.25MB
- 課題番号：
- JPMXP1224AT0127
- 課題名：
- 原子層堆積装置を用いたALD成膜実験
- 実施機関：
- 産業技術総合研究所
- 登録日：
- 2025.5.20
- ページビュー：
- 559
- ダウンロード数：
- 1
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- 集束イオンビーム（FIB）加工データベース（Helios 5UX）
- 装置・プロセス：
-
KU-018：イオンビーム・電子ビーム複合型精密加工分析装置
- ファイル数：
- 282
- ファイルサイズ：
- 190.56MB
- 課題番号：
- JPMXP1225KU6001
- 課題名：
- 【FIB/SEMデータベース】各種材料の加工データベース化
- 実施機関：
- 九州大学
- 登録日：
- 2026.1.19
- ページビュー：
- 477
- ダウンロード数：
- 62
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- 【カーボンデータベース】炭素材料のラマン分光 KU-504-1 ラマン分光
- 装置・プロセス：
-
KU-504：レーザラマン分光光度計装置
- ファイル数：
- 212
- ファイルサイズ：
- 53.71MB
- 課題番号：
- JPMXP1222KU1007
- 課題名：
- 炭素材料のデータベース化
- 実施機関：
- 九州大学
- 登録日：
- 2025.10.22
- ページビュー：
- 505
- ダウンロード数：
- 1
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- X線回折装置(XRD)の加工データ集（ALD_ZrO2薄膜_温度依存性）（2023年度）
- 装置・プロセス：
-
AT-070：X線回折装置(XRD)
- ファイル数：
- 10
- ファイルサイズ：
- 3.12MB
- 課題番号：
- JPMXP1223AT0099
- 課題名：
- AIST NPF加工データ集（2023年）
- 実施機関：
- 産業技術総合研究所
- 登録日：
- 2025.10.21
- ページビュー：
- 404
- ダウンロード数：
- 84
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- 電極材料の微構造観察
- 装置・プロセス：
-
UT-101：低損傷走査型分析電子顕微鏡
- ファイル数：
- 46
- ファイルサイズ：
- 18.97MB
- 課題番号：
- JPMXP1224UT9001
- 課題名：
- 電極材料の評価
- 実施機関：
- 東京大学
- 登録日：
- 2025.3.12
- ページビュー：
- 469
- ダウンロード数：
- 0
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- スパッタ成膜したAl膜の表面形状のAFM評価
- 装置・プロセス：
-
NU-205：3元マグネトロンスパッタ装置
NU-204：原子間力顕微鏡
- ファイル数：
- 42
- ファイルサイズ：
- 18.34MB
- 課題番号：
- JPMXP1223NU5201
- 課題名：
- 名古屋大学加工FSデータ
- 実施機関：
- 名古屋大学
- 登録日：
- 2024.10.29
- ページビュー：
- 400
- ダウンロード数：
- 67
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- Monochromated EELS of NiO
- 装置・プロセス：
-
NM-402：単原子分析電子顕微鏡
- ファイル数：
- 12
- ファイルサイズ：
- 57.87MB
- 課題番号：
- JPMXP1222NM1004
- 課題名：
- Monochromated EELS of NiO
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 登録日：
- 2023.10.27
- ページビュー：
- 466
- ダウンロード数：
- 0
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- ICP-RIE(RIE-101iPH)によるGaAsエッチング
- 装置・プロセス：
-
NM-615：ICP-RIE装置 [RIE-101iPH]
- ファイル数：
- 416
- ファイルサイズ：
- 127.62MB
- 課題番号：
- JPMXP1225NM2009
- 課題名：
- GaAsのドライエッチング
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 登録日：
- 2026.2.4
- ページビュー：
- 416
- ダウンロード数：
- 41
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- 【カーボンデータベース】炭素材料のデータベース化 KU-501 XPS
- 装置・プロセス：
-
KU-501：電子状態測定システム
- ファイル数：
- 135
- ファイルサイズ：
- 40.75MB
- 課題番号：
- JPMXP1222KU1007
- 課題名：
- 炭素材料のデータベース化
- 実施機関：
- 九州大学
- 登録日：
- 2026.1.28
- ページビュー：
- 449
- ダウンロード数：
- 1
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- OLED材料の大気中光電子収量分光データセット/Ambient Photoelectron Yield Spectroscopy Dataset of OLED Materials
- 装置・プロセス：
-
NMZ-001 大気中光電子収量分光（PYS)
- ファイル数：
- 243
- ファイルサイズ：
- 59.47MB
- 課題番号：
- JPMXP1225NM2501
- 課題名：
- 大気中光電子収量分光の有機半導体の標準データ
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 登録日：
- 2025.8.7
- ページビュー：
- 400
- ダウンロード数：
- 44
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- サムコ社製ALD装置〔AD-100LP〕を用いたALD成膜レシピとその膜特性
- 装置・プロセス：
-
AT-099：サムコ原子層堆積装置_2[AD-100LP]
- ファイル数：
- 65
- ファイルサイズ：
- 2.48MB
- 課題番号：
- JPMXP1222AT0458
- 課題名：
- ALD成膜基礎データ(2022年)
- 実施機関：
- 産業技術総合研究所
- 登録日：
- 2025.10.14
- ページビュー：
- 361
- ダウンロード数：
- 83
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- ICP-RIEによるSiO2エッチングのRF電源出力依存性
- 装置・プロセス：
-
NM-662：低ダメージ精密エッチング装置 [Spica]
NM-621：FE-SEM [S-4800]
- ファイル数：
- 47
- ファイルサイズ：
- 5.06MB
- 課題番号：
- JPMXP1224NM2001
- 課題名：
- CHF3ガスによるSiO2エッチングのRF電源出力依存性
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
- 登録日：
- 2024.10.31
- ページビュー：
- 360
- ダウンロード数：
- 76
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- マラリア原虫のアシル転移酵素（PfLPLAT1)欠損による核分裂阻害メカニズムの解析
- 装置・プロセス：
-
NU-101：反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡システム
- ファイル数：
- 53
- ファイルサイズ：
- 430.62MB
- 課題番号：
- JPMXP1223NU0004
- 課題名：
- マラリア原虫のアシル転移酵素（PfLPLAT1)欠損による核分裂阻害メカニズムの解析
- 実施機関：
- 名古屋大学
- 登録日：
- 2026.3.13
- ページビュー：
- 396
- ダウンロード数：
- 32
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