課題番号：

JPMXP1222MS5027

実施機関：

自然科学研究機構

要約

Li-ion電池の電極表面をナノレベルで観察できるAFM（Atomic Force Microscopy:原子間力顕微鏡）は、二次電池の効率向上のために有効な観察手段である。電気化学AFMは、電池電極表面での反応を制御しながら表面観察ができるオペランド計測手法として注目されている。モデルを簡単にするために、電極としてマイカ基板上にAuをスパッタコートしたものを試料として用いた。試料表面を作用極として動作させるため、試料裏面から電極を取り出す構造となっている。このためAuをコートした試料の表裏で導通があることが必要となる。基板側面にどの程度Auが回り込んでコートされているかを確認するためにSEM観察を行った。
RFスパッタ装置を用いてディスク形状のマイカ表裏にAuを600nmスパッタコートした。スパッタ条件はAr 1Pa雰囲気, Po=100W, スパッタ時間520secで行った。またスパッタコートしたAu表面を平滑化するために、600℃,30min真空中で加熱処理を行った。