データセット名：スパッタ成膜したAl膜の結晶構造のXRD評価
課題名：名古屋大学加工FSデータ
データセット登録者（所属機関）：加藤剛志（名古屋大学）
- 課題番号：
- JPMXP1223NU5201
- 実施機関：
- 名古屋大学
要約
薄膜X線回折法（X-ray diffraction: XRD、Rigaku社製、ATX-G、NU-203）を用いてAl薄膜の結晶構造を評価した。2θを10～140°として測定した。異なるArガス圧（0.5~2Pa）と膜厚（100～600nm）で成膜したAl薄膜におけるXRDデータとなる。Alは、3元マグネトロンスパッタ装置（島津製作所製、HSR-522、NU-205）を用いて成膜した。20°付近のガラス基板由来のピークからAl薄膜由来の結晶ピーク（111）～（333）が観察された。XRDデータより、すべての成膜条件において同じピークが確認され、Arガス圧と膜厚変化による違いはないことが分かった。このことから、異なる成膜条件で作製したAl薄膜の表面変色の有無に関わらず、結晶性は同じであることが考えられる。
キーワード・タグ
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データメトリックス
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データインデックス
- 登録日：
- 2023.10.27
- エンバーゴ解除日：
- 2023.11.01
- データセットID：
- aa3ea496-adaa-46ca-89a5-b99639fb8c1f
- データタイル数：
- 6
- ファイル数：
- 18
- ファイルサイズ：
- 4.97MB
- ライセンス：
-
