データセット名：熱刺激電流(TSC)の可視化解析技術による電気・電子材料の欠陥評価
課題名：熱刺激電流(TSC)の可視化解析技術による電気・電子材料の欠陥評価
データセット登録者（所属機関）：YOSHIDA, Fukuzo（大阪工業大学）
- 課題番号：
- JPMXP1222IT0060
- 実施機関：
- 東京科学大学（旧東京工業大学）
要約
材料中伝導キャリア等の活性化エネルギーを測定することができる熱刺激電流(TSC)法は、 新材料開発などに有効な評価技術である。本課題では、TSC可視化解析技術で分離したTSCデータをマテリアルデータとして利活用できるようにするために、TSC標準化データを得るための試料を作製する。2インチ半絶縁性GaAs基板全面に、マスクレス露光装置でパターンニングを行った後、Eガン蒸着装置でAu/Tiを蒸着し、リフトオフにより電極構造を形成し、ダイシングソーでTSC測定用チップの分離を行った。
本データセットは、熱刺激電流測定標準試料のCADパターン、マスクレス露光条件を示したものである。
キーワード・タグ
- 重要技術領域（主）：
- 重要技術領域（副）：
- 横断技術領域：
- マテリアルインデックス：
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データメトリックス
- ページビュー：
- 163
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データインデックス
- 登録日：
- 2025.07.10
- エンバーゴ解除日：
- 2025.03.31
- データセットID：
- b27e6fcc-857d-48c3-b1b2-a1be0be47819
- データタイル数：
- 1
- ファイル数：
- 7
- ファイルサイズ：
- 318.22KB
- ライセンス：
- ARIMライセンス