データセット名：導波路型光アイソレータおよび磁気光学デバイスの製作
課題名：導波路型光アイソレータおよび磁気光学デバイスの製作
データセット登録者（所属機関）：SHOJI, Yuya （東京工業大学）
- 課題番号：
- JPMXP1222IT0030
- 実施機関：
- 東京科学大学（旧東京工業大学）
要約
低損失な導波路型光アイソレータの実現に向けて、TEモード入力光に対して、モード変換器を結合部に有するリング共振器型光アイソレータを提案し、そのデバイス作製を行った。シリコン基板上にRIEのマスクとして200nmのSiO2をCVDで製膜し、450nm幅の導波路パターンを電子ビーム/マスクレス露光装置を用いて描画し、ドライエッチングで光導波路を形成した。その上に磁気光学ガーネットをクラッド層として直接接合することでデバイスを作製した。光学特性として、挿入損失4.3 dB、アイソレーション比22 dBが得られた。本データセットは、Si光導波路を形成するためのマスクSiO2の成膜条件を示したものである。
キーワード・タグ
- 重要技術領域（主）：
- 重要技術領域（副）：
- 横断技術領域：
- マテリアルインデックス：
- キーワードタグ：
データメトリックス
- ページビュー：
- 172
- ダウンロード数：
- 0
データインデックス
- 登録日：
- 2025.07.10
- エンバーゴ解除日：
- 2024.03.31
- データセットID：
- 5d9dec10-f03e-4e18-af25-83963025df0d
- データタイル数：
- 1
- ファイル数：
- 5
- ファイルサイズ：
- 214.4KB
- ライセンス：
- ARIMライセンス