データセット名：X線回折装置(XRD)の加工データ集（ALD_ZrO2薄膜_温度依存性）（2023年度）
課題名：AIST NPF加工データ集（2023年）
データセット登録者（所属機関）：ARIMOTO, Hiroshi （産業技術総合研究所）
- 課題番号：
- JPMXP1223AT0099
- 実施機関：
- 産業技術総合研究所
要約
国立研究開発法人 産業技術総合研究所 ナノプロセシング施設（Nano-Processing Facility：NPF）では、ナノエレクトロニクス等の研究開発に必要不可欠な、微細加工、実装、計測・評価、デバイス試作のための先端機器を、産学官の研究者及び技術者に提供しています。NPFに設置されているX線回折装置(XRD)を用いて、2023年度にスタッフデータとして取得したALD成膜装置によるZrO2/Si薄膜サンプル（成膜温度150℃、250℃及び300℃）の結晶性評価を紹介します。XRD測定結果から成膜温度に比例して結晶性が確認されました。
キーワード・タグ
- 重要技術領域（主）：
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データメトリックス
- ページビュー：
- 144
- ダウンロード数：
- 30
データインデックス
- 登録日：
- 2025.10.21
- エンバーゴ解除日：
- 2024.03.31
- データセットID：
- 33d067b1-c7c5-4c6e-bbcd-8d611279d7a2
- データタイル数：
- 1
- ファイル数：
- 10
- ファイルサイズ：
- 3.12MB
- ライセンス：
-
