データセット名：サムコ社製ALD装置〔AD-100LP〕を用いたALD成膜レシピとその膜特性
課題名：ALD成膜基礎データ(2022年)
データセット登録者（所属機関）：ARIMOTO, Hiroshi （産業技術総合研究所）
- 課題番号：
- JPMXP1222AT0458
- 実施機関：
- 産業技術総合研究所
要約
産業技術総合研究所_共用施設_ナノプロセシング施設_サムコ原子層堆積装置_2[AD-100LP]は、誘導結合式ICPプラズマ（ダウンフロー型、リモート型）、試料サイズ:4インチ（2インチは3枚まで搭載可能）、及び７種類の反応ガスに接続可能な原子層堆積装置です。今回2022年度のスタッフデータとしてN2、N2/H2、及びNH3反応ガスによるAlN/Si膜の温度依存性詳細レシピデータ及びその評価データ（GPC、XPS組成、XRD結晶性及びD-SIMS成分分析など）を紹介します。
TMAによるAlN膜の成膜事例が記載されています。
キーワード・タグ
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データメトリックス
- ページビュー：
- 111
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- 31
データインデックス
- 登録日：
- 2025.10.14
- エンバーゴ解除日：
- 2023.09.30
- データセットID：
- 390ff378-0275-4b3d-a047-d46ffb958ef4
- データタイル数：
- 14
- ファイル数：
- 65
- ファイルサイズ：
- 2.48MB
- ライセンス：
-
