課題番号：

JPMXP1222NU0230

実施機関：

名古屋大学

要約

ナノオーダーのライン＆スペースパターンの周期をもつ金属回折格子の作製を目的とする。最適条件を見出すため、1cm角の石英ガラス基板にZEP-520A（1:2）をスピンコートし、電子線露光装置（NU-206）で 150 µm × 150 µm の領域に縦 150 µm 横 196 nm 横方向のピッチ 392 nm で描画した。電子線露光装置での描画～現像条件は以下の通り。
・HMDS 処理：4000 rpm, 30 sec → ベーキング, 30 min → 75 ℃, 10 min
・ZEP-520A（1:2）：3000 rpm, 30 sec → ベーキング 170 ℃, 10min
・エスペイサー：2000 rpm, 90 sec → 風乾 1 hr → ベーキング 80 ℃, 10 min
・電流値：200 pA
・ドーズ量（µC/cm2）120, 140, 160, 180, 200, 220, 240, 260, 280, 300
・エスペイサー除去：蒸留水 at RT for 1 min
・現像：キシレン at 25 ℃ for 40 sec
・リンス：IPA at RT for 30 sec
・Dry up
現像後、原子間力顕微鏡（NU-204）で観察し、最適条件を検討した。ひとつのドーズ量につき水平方向スキャンし、ライン＆スペース構造の幅と深さ、およびレジストの幅を計測した。